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자기장을 발생하는 자성체와,상기 자성체를 내부에 수용하고 상기 자성체와 접지된 몸체와,상기 몸체 내부에서 방전가스에 고전압을 인가하는 양극과,상기 몸체 내부를 개방하는 이온인출유로를 형성하여 몸체 외부로 이온빔의 인출을 가능하게 하는 유로형성부를 구비하는 음극을 포함하여 구성되며,상기 유로형성부는 이온빔의 인출방향으로 갈수록 횡단면적이 변화하는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유로형성부 일측에는, 종단면 형상이 예각을 갖는 집속부가 구비됨을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 2 항에 있어서, 상기 유로형성부의 표면은 서로 교차하는 직선으로 이루어짐을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 3 항에 있어서, 상기 집속부는 이온빔 인출 방향에 대하여 직교하는 방향으로 자기장을 형성하는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 집속부는 유로형성부의 높이 방향으로 다수 구비됨을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 5 항에 있어서, 상기 다수 집속부는 서로 다른 이격 거리를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 6 항에 있어서, 상기 유로형성부는 중앙을 기준으로 대칭 또는 비대칭되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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제 7 항에 있어서, 상기 다수 집속부는 1 내지 5㎜의 이격 거리를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
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