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이온빔 발생장치

  • 기술번호 : KST2014055932
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 이온빔 발생장치는, 자기장을 발생하는 자성체와, 상기 자성체를 내부에 수용하고 상기 자성체와 접지된 몸체와, 상기 몸체 내부에서 방전가스에 고전압을 인가하는 양극과, 상기 몸체 내부를 개방하는 이온인출유로를 형성하여 몸체 외부로 이온빔의 인출을 가능하게 하는 유로형성부를 구비하는 음극을 포함하여 구성되며, 상기 유로형성부는 높이방향으로 갈수록 횡단면적이 변화하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 27/02 (2006.01) H01J 37/08 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020110039925 (2011.04.28)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1188604-0000 (2012.09.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121008) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시
2 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 강재욱 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 김창수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 이승훈 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0315503-25
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0248611-89
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0511473-20
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0511480-40
5 등록결정서
Decision to grant
2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0569384-04
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
자기장을 발생하는 자성체와,상기 자성체를 내부에 수용하고 상기 자성체와 접지된 몸체와,상기 몸체 내부에서 방전가스에 고전압을 인가하는 양극과,상기 몸체 내부를 개방하는 이온인출유로를 형성하여 몸체 외부로 이온빔의 인출을 가능하게 하는 유로형성부를 구비하는 음극을 포함하여 구성되며,상기 유로형성부는 이온빔의 인출방향으로 갈수록 횡단면적이 변화하는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 유로형성부 일측에는, 종단면 형상이 예각을 갖는 집속부가 구비됨을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 유로형성부의 표면은 서로 교차하는 직선으로 이루어짐을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 집속부는 이온빔 인출 방향에 대하여 직교하는 방향으로 자기장을 형성하는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
5 5
제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 집속부는 유로형성부의 높이 방향으로 다수 구비됨을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 다수 집속부는 서로 다른 이격 거리를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 유로형성부는 중앙을 기준으로 대칭 또는 비대칭되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 다수 집속부는 1 내지 5㎜의 이격 거리를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.