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연성필름에 다수 박막을 형성하기 위한 작업 공간을 제공하고, 상기 작업 공간은 서로 다른 진공도를 가지는 다수 공간으로 구획되며, 내부와 외부가 서로 연통되도록 하는 진공배기부가 구비된 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 진공을 형성하는 진공형성수단과; 상기 진공챔버 내부에서 연성필름을 공급하는 필름공급롤러와; 상기 연성필름을 공급받아 표면을 개질하는 표면개질수단과; 표면이 개질된 연성필름의 일면에 박막을 형성하는 다수의 박막형성기와; 상기 다수 박막형성기에 대응하는 개수로 구비되어 연성필름의 열을 냉각하는 냉각롤러와; 상기 다수 냉각롤러 사이에 구비되어 필름의 이송 방향을 안내하는 이송안내롤러와; 상기 다수 박막형성기를 경유하여 제조된 다층박막을 권취하여 보관하는 박막권취롤러를 포함하여 구성되며,
상기 진공형성수단은,
상기 진공배기부와 연결되어 진공챔버 내부에 진공을 형성하는 로터리펌프와,
상기 진공챔버 내부 일측에 위치하여 진공을 형성하는 고진공펌프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층박막 제조장치
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제 3 항에 있어서, 상기 표면개질수단은,
상기 필름공급롤러에서 공급받은 연성필름의 이송 방향을 안내하는 한 쌍의 개질안내롤러와,
상기 진공챔버 내부 벽면에 일단부가 고정되고, 타단부는 상기 개질안내롤러에 근접하여 진공챔버 내부에서 표면개질을 위한 공간을 구획하는 차폐커튼과,
상기 개질안내롤러 사이에 진공을 형성하는 개질용펌프와,
상기 개질용펌프 사이에서 상기 연성필름 일면에 플라즈마를 제공하는 플라즈마발생기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층박막 제조장치
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제 4 항에 있어서, 상기 차폐커튼와 연성필름이 이격된 거리는 3㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 다층박막 제조장치
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제 4 항에 있어서, 상기 차폐커튼은 테프론으로 형성됨을 특징으로 하는 다층박막 제조장치
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제 4 항에 있어서, 상기 차폐커튼에 의해 구획된 공간과, 구획되지 않은 진공챔버 내부 공간은 서로 다른 진공도를 갖는 것을 특징으로 하는 다층박막 제조장치
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진공챔버 내부에 진공을 형성하는 진공형성단계와,
필름공급롤러와 박막권취롤러를 회전시켜 연성필름을 이송시키는 필름이송단계와,
상기 필름공급롤러로부터 연성필름을 공급받은 표면개질수단을 이용하여 연성필름의 표면을 개질하는 표면개질단계와,
표면이 개질된 연성필름에 스퍼터링을 실시하여 박막을 형성하는 박막형성단계와,
상기 박막이 형성된 연성필름을 냉각롤러로 냉각하는 필름냉각단계와,
상기 필름냉각단계에 의해 냉각된 박막이 형성된 연성필름을 박막권취롤러에 권취하는 박막권취단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 진공형성단계는,
상기 진공챔버 내부의 공간을 진공 상태로 만드는 챔버진공과정과,
상기 진공챔버 내부에서 표면개질을 위한 공간의 진공도를 높이는 개질진공과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 진공형성단계는,
상기 진공챔버 내부 공간의 진공도는 10-3torr, 상기 진공챔버 내부에서 표면 개질을 위한 공간의 진공도는 10-4torr 로 형성하는 과정임을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 표면개질단계는, 연성필름의 일면에 플라즈마를 제공하여 표면을 개질하는 과정임을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 박막형성단계는, 스퍼터링을 실시하기 위한 다수 박막형성기 중에서 하나 이상을 작동시키는 과정임을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 필름냉각단계는, 작동 중인 박막형성기에 대응하는 냉각롤러를 작동시키는 과정임을 특징으로 하는 다층박막 제조장치를 이용한 다층박막 제조방법
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