| 요약 |
본 발명은 웨이퍼 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼와 접촉하지 않은 상태에서 공기압에 의해 지지하며 웨이퍼의 변형을 최소화할 수 있는 지지장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 비접촉식 웨이퍼 지지장치는, 윗면이 밑면보다 큰 직경을 가진 원뿔대 형상이고, 윗면에 링 형상의 돌출부와 요입부가 반경방향을 따라 교번하여 형성되며, 각각의 돌출부 및 요입부로부터 밑면까지 관통하여 공기유로가 형성된 제1부재와, 속이 빈 원뿔대 형상이고, 내면이 제1부재의 외면과 이격되도록 제1부재를 수용하여 제1부재와의 사이에 공기채널을 형성하며, 상단부가 제1부재보다 높이 돌출되고, 상단부의 내경이 웨이퍼의 직경보다 큰 제2부재와, 각 돌출부로부터 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제1 공기분사펌프와, 공기채널을 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제2 공기분사펌프와, 각 요입부에 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 밑면 방향으로 공기를 흡입하는 공기흡입펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.웨이퍼, 비접촉, 압력분포, 에어펌프.
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