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금속 메쉬 구조를 갖는 투명 전극 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014055999
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요약 금속 메쉬 구조를 갖는 투명 전극 박막 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 전극 박막은 기판 상에 형성되는 금속 메쉬부를 포함하는 투명 전극 박막에 있어서, 상기 기판 및 금속 메쉬부 사이에 배치되는 제1 전도성 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020120049475 (2012.05.10)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1328483-0000 (2013.11.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경일 대한민국 서울 양천구
2 조진우 대한민국 경기 성남시 분당구
3 김성현 대한민국 경기 용인시 수지구
4 이철승 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 매니진 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0373178-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2013-0016656-44
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0295605-30
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0582553-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0582566-55
8 등록결정서
Decision to grant
2013.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0746171-73
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 상에 제1 전도성 박막을 형성하는 제1 단계;상기 제1 전도성 박막 상부에 전기수력학 증착 방식으로 전도성 물질을 함유하는 잉크를 토출하여 제1 금속선을 제1 방향으로 형성하는 제2 단계; 및전기수력학 증착 방식으로 상기 전도성 물질을 함유하는 잉크를 토출하여 제2 금속선을 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성하는 제3 단계를 포함하고, 상기 전기수력학 증착 방식은 상기 제1 전도성 박막을 전압 인가용 전극으로 사용하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 박막 제조방법
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청구항 5에 있어서, 상기 제1 금속선 및 제2 금속선을 열처리하여 금속 메쉬부를 형성하는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 박막 제조방법
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청구항 6에 있어서, 상기 금속 메쉬부 상부에 제2 전도성 박막을 형성하는 제5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 박막 제조방법
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청구항 5 또는 청구항 6에 있어서, 상기 제1 전도성 박막은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al-doped Zinc Oxide), GZO(Ga-doped Zinc Oxide), 프로필렌디옥시티오펜, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜), 카본나노튜브(carbon nano tube) 또는 그래핀(grapheme)으로 제조되고, 상기 제1 금속선 및 제2 금속선은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 니켈(Ni) 또는 몰리브덴(Mo) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는 투명 전극 박막 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 전자부품연구원 전략기술개발사업 다이렉트 나노패터닝용 고해상도 EHD 인쇄모듈 기술 개발