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유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014056147
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 통한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법에 관한 것으로, 무기물 증착을 위한 원자층 증착 챔버와 유기물 증착을 위한 열 증착 챔버가 상하로 연결되어 있고, 상기 챔버들을 연결하는 연결 통로에 게이트 밸브가 배치되어 있으며, 상기 원자층 증착 챔버에는 무기물 증착원을 공급하기 위한 주입구가 구비되어 있고, 상기 열 증착 챔버에는 유기물 증착원을 가열하기 위한 수단이 구비되어 있는, 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 분자 단위의 유기-무기 박막 형성에 있어서 열 증착법과 원자층 증착법을 이용하여 유기층/무기층의 물리적 다층 박막과 유기층과 무기층의 계면에서의 화학적 결합에 의한 유기층/무기층의 다층 박막을 형성할 수 있다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01)
출원번호/일자 1020130026189 (2013.03.12)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1505619-0000 (2015.03.18)
공개번호/일자 10-2014-0112633 (2014.09.24) 문서열기
공고번호/일자 (20150325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.12)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임종선 대한민국 대전 유성구
2 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
3 이선숙 대한민국 대전 중구
4 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
5 정석종 대한민국 대전 유성구
6 명성 대한민국 서울 관악구
7 김성준 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0214284-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0067461-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0704560-92
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-1221839-61
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0034696-08
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0165951-21
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1
무기물 증착을 위한 원자층 증착 챔버와 유기물 증착을 위한 열 증착 챔버가 상하로 연결되어 있고, 상기 원자층 증착 챔버 내에는 유기-무기 하이브리드 박막을 형성하고자 하는 기판이 배치되어 있고, 상기 원자층 증착 챔버와 상기 열 증착 챔버의 증착 방향에 따라 기판을 상하로 회전시킬 수 있는 수단이 구비되어 있고,상기 챔버들을 연결하는 연결 통로에 게이트 밸브가 배치되어 있으며,상기 원자층 증착 챔버에는 무기물 증착원을 공급하기 위한 주입구가 구비되어 있고, 상기 열 증착 챔버에는 유기물 증착원을 가열하기 위한 수단이 구비되어 있는, 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 게이트 밸브는 상기 열 증착 챔버 내에서의 유기물 증착과 상기 원자층 증착 챔버 내에서의 무기물 증착이 반복되는 과정에서 두 챔버가 연결됨으로 인한 오염을 차단할 수 있는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 원자층 증착 챔버에 금속전구체를 산화시킬 수 있는 산화제를 주입할 수 있는 수단이 구비된 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치
6 6
제1항, 제2항 및 제5항 중 어느 한 항의 장치를 이용하여 유기-무기 하이브리드 박막을 제조하는 방법에 있어서, 1) 상기 박막을 형성하고자 하는 기판을 상기 원자층 증착 챔버 내에 장착하는 단계;2) 상기 게이트 밸브를 열고, 상기 기판이 열 증착 챔버를 향하도록 회전시키는 단계;3) 상기 열 증착 챔버 내에 유기물 증착원을 주입하고 가열수단으로 가열하여 기판 상에 유기물 박막을 증착하는 단계; 및4) 상기 게이트 밸브를 닫고, 상기 유기물 박막이 증착된 기판을 원자층 증착 챔버의 무기물 증착원 주입구를 향하도록 회전시킨 후 원자층 증착 챔버 내에서 무기물 증착을 실시하는 단계를 포함하는, 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 유기 증착 챔버에서의 유기물 증착원으로 -OH, -COOH 또는 아민계 작용기를 갖는 유기 단분자를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 유기 단분자는 포르피린계, 안트라센계, 프탈로시안계, 페닐피리딘계, 플러렌 유도체계, 아크릴계, 이미드계 및 티오펜계 화합물로부터 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
9 9
제6항에 있어서,상기 원자층 증착 챔버에서의 무기물 증착원으로 Al, Zn, Cu, Co, Ni, Mn, Sn, Fe, Pt, Ir, Ti, Zr 및 Hf 으로부터 선택되는 금속의 전구체를 1종 이상 사용하는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
10 10
제6항에 있어서,상기 단계 2) 내지 4)를 반복함으로써 유기물 박막과 무기물 박막이 교대로 적층된 유기-무기 하이브리드 다층 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
11 11
제6항에 있어서,상기 기판은 금속 산화물 기판, 반도체 기판, 유리 기판 및 플라스틱 기판 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 다기능 그래핀 소재 및 소자화 기술 개발
2 교육과학기술부 한국화학연구원 원천기술개발사업 고해상도 소프트 패터닝 공정기술
3 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 분자제어를 통한 기능성 유/무기 소재 및 유연 전자 소자 개발