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롤투롤 다층 인쇄 패턴의 단락 검출 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2014056258
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정전용량 센서와 와전류 센서를 이용하여 실시간 비접촉으로 다층인쇄패턴의 단락을 검출하는 방법 및 그에 적합한 장치가 개시된다.다층 인쇄패턴의 단락 측정 방법은 (a) 다층 인쇄 패턴 상에서 단락의 발생 여부를 측정하고자 하는 위치에서의 정전용량 및 와전류를 순차로 측정하는 단계; 및 (b) 전도층 및 비전도층 모두에서 측정되는 정전 용량의 특성 및 전도층에서만 측정되는 와전류의 특성을 이용하여 상기 측정 단계에서 측정된 정전 용량 및 와전류를 비교하여 비전도층에서의 단락 발생 여부를 판단하는 단계를 포함한다.본 발명에 의하면 정전용량 센서와 와전류 센서를 이용하여 다층인쇄에서 발생할 수 있는 전도층과 비전도층 사이의 단락의 유무를 실시간 및 비접촉으로 검출할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01N 27/90 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) G01N 27/24 (2006.01)
CPC G01B 7/34(2013.01) G01B 7/34(2013.01) G01B 7/34(2013.01) G01B 7/34(2013.01) G01B 7/34(2013.01)
출원번호/일자 1020110043479 (2011.05.09)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1260344-0000 (2013.04.26)
공개번호/일자 10-2011-0134823 (2011.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20130506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100054520   |   2010.06.09
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신기현 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 최재원 대한민국 강원도 강릉시
3 김송준 대한민국 전라북도 남원시
4 성진우 대한민국 서울특별시 노원구
5 강현규 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조현석 대한민국 충청남도 예산군 대술면 송석백제울길 ***(지우국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0341623-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0049858-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0633134-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1073089-72
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-1073086-35
8 등록결정서
Decision to grant
2013.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0284121-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전도층 및 상기 전도층의 상부에 도포되는 비전도층을 포함하는 다층 인쇄 패턴상에서 상기 전도층 상에 상기 비전도층이 도포되지 않아서 발생하는 단락을 측정하는 방법에 있어서(a) 상기 다층 인쇄 패턴 상에서 단락의 발생여부를 측정하고자 하는 측정 위치에서의 정전용량 및 와전류를 상기 다층 인쇄 패턴 상에 위치하는 정전용량 센서 및 와전류 센서 각각에 의해 순차로 측정하는 단계; 및(b) 전도층 및 비전도층 모두에 대해서 반응하는 상기 정전 용량 센서의 특성 및 전도층에 대해서만 반응하는 상기 와전류 센서의 특성을 이용하여, 상기 측정 단계에서 측정된 상기 정전 용량 센서의 출력값 및 상기 와전류 센서의 출력값을 비교하여 상기 측정 위치에서 상기 정전용량 센서와 상기 와전류 센서가 모두 반응할 경우에 상기 측정 위치에서 단락이 발생한 것으로 판단하고 상기 정전용량 센서는 반응하지만 상기 와전류 센서는 반응하지 않을 경우 상기 측정 위치에서 단락이 발생하지 않은 것으로 판단하는 단계를 포함하는 다층 인쇄패턴의 단락 측정 방법
2 2
전도층 및 상기 전도층의 상부에 도포되는 비전도층을 포함하는 다층 인쇄 패턴상에서 상기 전도층 상에 상기 비전도층이 도포되지 않아서 발생하는 단락을 측정하는 장치에 있어서상기 다층인쇄패턴이 형성된 웹을 이송시키는 롤;상기 롤의 상부에 위치하며 상기 롤에 의해 상기 웹이 이송되는 동안 상기 다층 인쇄 패턴 상의 측정 위치에서 상기 롤과 상기 다층인쇄패턴 사이의 정전용량 및 와전류를 순차로 검출하는 정전용량 센서 및 와전류 센서; 및상기 정전용량 센서 및 상기 와전류 센서에 의해 측정된 측정값들을 비교하여 상기 다층 인쇄 패턴에서 단락의 발생 여부를 검출하는 데이터 처리부를 포함하며,여기서, 상기 데이터 처리부는 전도층 및 비전도층 모두에 대해서 반응하는 상기 정전 용량 센서의 특성 및 전도층에 대해서만 반응하는 상기 와전류 센서의 특성을 이용하여 상기 정전 용량 센서의 출력값 및 상기 와전류 센서의 출력값을 비교하여 상기 측정 위치에서 상기 정전용량 센서와 상기 와전류 센서가 모두 반응할 경우에 상기 측정 위치에서 단락이 발생한 것으로 판단하고 상기 정전용량 센서는 반응하지만 상기 와전류 센서는 반응하지 않을 경우 상기 측정 위치에서 단락이 발생하지 않은 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 다층 인쇄 패턴의 단락 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 건국대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 서울시 기술기반구축사업) 동부권 도심형 제조업 혁신을 위한 e-Printing 부품 산업 클러스터 구축