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용액 반응에 의해 나노구조체가 형성되는 기판; 상기 기판의 일 면에 적층되는 실링 부재; 및상기 실링 부재 상에 적층되고, 기판을 바닥부로 하여 용액 반응을 위한 반응 용액을 담지할 수 있는 반응 용기를 형성하는 반응 용기 형성 부재; 로 형성되는 반응 용기; 및 상기 반응 용기 내로 반응 용액을 순환시키는 반응 용액 순환부; 를 포함하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 Si, Al2O3, GaN, GaAs, ZnO, InP, SiC, 유리 및 플라스틱 기판 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 플라스틱 기판은 폴리에틸렌 나프탈레이트 (PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET), 폴리에테르술폰 (PES), 폴리이미드, 폴리카보네이트, 시클릭 올레핀 공중합체 또는 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 실링 부재는 오링 또는 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 반응 용기 형성 부재는 테프론, 에폭시 또는 우레탄 재질인 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 나노구조체층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 반응 용액 순환부는 상기 기판과 반응 용기 형성 부재로 형성되는 반응 용기 내로 기판의 용액 반응 처리를 위한 반응 용액을 주입하는 유입부; 상기 반응 용기로부터 반응 용액을 유출시키는 유출부; 및상기 유입부, 상기 유출부와 각각 연결되어 반응 용액을 순환시키는 순환 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 유입부는 복수개 포함되는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 8 항에 있어서,상기 유출부는 복수개 포함되는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 용액 반응 장치는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 용액 반응 장치는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판의 하부에 기판을 가열하기 위한 가열 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 반응 장치
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용액 반응에 의해 나노구조체가 형성되는 기판을 준비하는 단계; 상기 기판의 일 면 상부에 실링 부재를 설치하는 단계;상기 실링 부재의 상부에 반응 용기 형성 부재를 설치하여 반응 용기를 형성하는 단계; 상기 반응 용기 내로 반응 용액을 유입시키는 단계; 및 상기 반응 용기로부터 반응 용액을 유출시키는 단계;로 구성되는 용액 반응 방법
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