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그래핀 산화물의 국소 환원을 이용한 탄소층 기반 집적회로 제작 방법 및 이의 응용

  • 기술번호 : KST2014056311
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀계 탄소기반 전자소자 및 그 제조방법을 제공한다.본 발명의 그래핀계 탄소기반 전자소자는 기판; 상기 기판 상에 형성된 그래핀 산화물 박막층; 상기 그래핀 산화물 박막층 상에 형성된 게이트 절연층; 및 상기 절연층 상에 형성된 게이트 전극;을 포함하되, 상기 그래핀 산화물 박막층은 일면 상에 레이저를 조사하여 그래핀 산화물이 국소환원된 것일 수 있다. 본 발명에 따르면, 그래핀 산화물의 환원에 의해 저항 감소 및 투명도가 향상되는 효과가 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01.01) C01B 31/02 (2006.01.01) H01L 29/78 (2006.01.01)
CPC H01B 13/003(2013.01) H01B 13/003(2013.01)
출원번호/일자 1020130024729 (2013.03.07)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2039748-0000 (2019.10.28)
공개번호/일자 10-2014-0110431 (2014.09.17) 문서열기
공고번호/일자 (20191101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용수 대한민국 울산광역시 남구
2 최학순 대한민국 울산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2 이형석 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0202413-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0228454-19
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0128510-47
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0403193-48
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0522269-22
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0522277-98
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0675481-96
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1066132-36
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.10.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1066154-30
13 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2019.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0767141-68
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 그래핀 산화물 박막층;상기 그래핀 산화물 박막층 상에, 후속 열공정에 의해서 산화되어 자체 생성된 게이트 절연층; 및상기 절연층 상에 형성된 게이트 전극;을 포함하되,상기 그래핀 산화물 박막층은 일면 상에 엑시머 레이저를 조사하여 고열을 가함으로써 그래핀 산화물이 국소환원된 것이며;상기 그래핀 산화물 박막층은 상기 기판 상에 드레인 전극, 소스 전극 및 채널층이 동일면에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
2 2
제 1 항에 있어서,상기 엑시머 레이저의 펄스 폭이 10nS 이상 50nS 이하인 것인 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 채널층 상에, 후속 열공정에 의해서 산화되어 자체 생성된 게이트 절연층이 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
5 5
제 1 항에 있어서,상기 채널층은 드레인 전극과 소스 전극 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
6 6
제 1 항에 있어서,상기 드레인 전극 및 소스 전극은 상기 그래핀 산화물 박막층이 국소환원되어 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
7 7
제 1 항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 그래핀 산화물 박막층 상에 금속을 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소기반 전자소자
8 8
삭제
9 9
삭제
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1 WO2014137180 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2014137180 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 울산대학교 지역대학우수과학자지원사업 저가풍부한 원소로 구성된 CZTS 박막 태양전지의 효율 극대화 연구
2 교육과학기술부 울산대학교 대학중점연구소지원사업 기초과학연구소