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(a) 실리콘 기판 상측의 1차 전극영역 및 복수의 2차 전극영역을 포함하는 전극영역에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 1차 포토레지스트를 코팅하는 단계;(c) 1차 포토마스크를 통하여 상기 1차 전극영역을 1차 노광하는 단계;(d) 상기 1차 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계;(e) 상기 (d) 단계 후 상기 1차 전극영역 및 상기 절연층 상부에 2차 포토레지스트를 코팅하는 단계;(f) 상기 2차 전극영역을 2차 포토마스크를 통하여 2차 노광하는 단계;(g) 상기 2차 전극영역 사이의 포토레지스트 상부를 와이어 형태의 포토마스크를 통하여 상기 2차 전극영역을 연결하는 마이크로 사이즈의 와이어 형태로 3차 노광하는 단계; (h) 상기 (c), (f) 및 (g) 단계에 노광된 부분을 제외한 나머지 부분의 포토레지스트를 현상 제거하는 단계; (i) 상기 1차 및 2차 전극영역 및 상기 와이어를 열분해하여 탄소 전극과 상기 탄소 전극 방향으로 돌출된 탐침이 형성된 탄소 와이어를 형성하는 단계; 및(j) 상기 탄소 와이어 상에 패시베이션층을 형성하는 단계를 포함하는 바이오센서 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (g) 단계는, 상기 1차 전극영역은 상기 2차 전극영역을 연결하는 상기 와이어 하부에 형성되는 바이오센서 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (i) 단계에서 상기 탄소 와이어는 메시(mesh)형상 또는 허니콤(honey comb)형상인 바이오센서 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 (i) 단계에서,상기 탄소 와이어는 교차되는 중첩영역을 구비하며, 상기 탐침은 상기 중첩영역에 형성되는 바이오센서 제조 방법
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청구항 4에 있어서, 상기 (i) 단계에서,상기 탐침이 상기 탄소 와이어 외부로 돌출되도록 상기 탄소 전극 및 상기 탄소 와이어를 번복(飜覆)하는 단계를 더 포함하는 바이오센서 제조 방법
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(a) 제1 전극영역, 복수의 제2 전극영역을 포함하며, 절연 물질로 이루어진 기판을 준비하는 단계;(b) 상기 기판 상에 1차 포토레지스트를 코팅하는 단계;(c) 1차 포토마스크를 통하여 상기 제1 전극영역을 1차 노광하는 단계;(d) 상기 제1 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계;(e) 상기 (d) 단계 후 상기 제1 전극영역 및 상기 기판 상부에 2차 포토레지스트를 코팅하는 단계;(f) 상기 제2 전극영역을 2차 포토마스크를 통하여 2차 노광하는 단계;(g) 상기 제2 전극영역 사이의 포토레지스트 상부를 와이어 형태의 포토마스크를 통하여 상기 제2 전극영역을 연결하는 마이크로 사이즈의 와이어 형태로 3차 노광하는 단계; (h) 상기 (c), (f) 및 (g) 단계에 노광된 부분을 제외한 나머지 부분의 포토레지스트를 현상 제거하는 단계; 및(i) 상기 제1 및 제2 전극영역 및 상기 와이어를 열분해하여 탄소 전극과 탄소 와이어를 형성하는 단계를 포함하는 바이오 센서 제조 방법
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절연층을 포함하는 기판 상측에 구비되는 제1 탄소 전극;상기 제1 탄소 전극과 소정 간격 이격되되 상기 제1 탄소 전극의 외주변을 따라 구비되는 제2 탄소 전극; 및상기 제2 탄소 전극 상부를 연결하되 상기 제1 탄소 전극 상부에 구비되며, 상기 제1 탄소 전극 방향으로 돌출된 탐침이 형성된 탄소 와이어를 포함하는 바이오 센서
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절연층을 포함하는 기판 상측에 구비되는 복수개의 탄소 전극;상기 탄소 전극 상부를 연결하되, 하측 또는 상측 방향으로 돌출된 탐침이 형성된 탄소 와이어를 포함하는 바이오 센서
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