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전기영동법에 의한 오믹접촉박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014056548
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제조공정이 진공 상태가 아닌 상압 상태에서 이루어져 제조비용이 대폭 절감되고, 별도이 소성공정 등이 필요없는 등 제조공정이 단순하고 연속공정이 가능하여 생산성을 대폭 향상시킬 수 있는 오믹접촉박막의 제조방법에 관한 것으로서, 금속나노입자 콜로이드를 제조하고, 전기영동법을 이용하여 상기 금속나노입자 콜로이드 중 금속나노입자를 금속 또는 전도성 전극표면에 석출시켜 오믹접촉박막을 제조하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/288 (2006.01) H01L 21/283 (2006.01)
CPC H01L 21/288(2013.01) H01L 21/288(2013.01) H01L 21/288(2013.01)
출원번호/일자 1020120011887 (2012.02.06)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1337847-0000 (2013.11.29)
공개번호/일자 10-2013-0090622 (2013.08.14) 문서열기
공고번호/일자 (20131206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.06)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유연태 대한민국 전북 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이승현 대한민국 전라북도 전주시 덕진구 기린대로 ***, 삼전빌딩 *층 이승현국제특허법률사무소 (덕진동*가)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-0095889-62
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0092186-40
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0305190-17
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0408351-10
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0509055-91
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0544332-09
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0544325-89
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0748299-54
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0999467-02
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.11.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0999463-19
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0824962-89
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
콜로이드 상태의 금속나노입자가 전해액으로 사용되며, 전기영동법을 이용하여 상기 금속나노입자 콜로이드 중 금속나노입자를 금속 또는 전도성 전극표면에 석출시켜 오믹접촉박막을 제조하며, 상기 금속나노입자는 Pt, Au, Ag, Pd 중 선택된 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하며, 상기 전도성 전극은 전도성 박막이 코딩된 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 유리판이고, 상기 전기 영동법을 통해 상기 FTO 유리판 위에 금속 박막층을 제조하기 위하여, FTO 유리판을 작업전극(working electrode)으로 금속나노입자 콜로이드 중에 설치하고, 상대전극(counter electrode)으로는 백금판을 사용하였으며, 참조전극(reference electrode)으로는 SCE(saturated calomel electrode, KCl)를 사용하는 전기영동법에 의한 오믹접촉박막의 제조방법
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삭제
3 3
삭제
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제 1항에 있어서, 전기영동법에 의거 전도성 박막이 코팅된 유리판 위에 Pt 오믹접촉 박막층을 제조하기 위해,Pt 콜로이드 200㎖를 전해액으로 하여 상온을 유지하는 단계;상기 Pt 콜로이드 전해액을 자석 교반기를 통해 교반하는 단계; 정전류 및 펄스 전류의 1회 사이클에서 전류인가시간의 듀티 사이클 (duty cycle) 5~50% 동안 온 되는 펄스전류 방식에 의거 전류를 인가하는 단계; 및금속나노입자 중 Pt 오믹 접촉 박막이 형성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동법에 의한 오믹접촉박막의 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 전기영동법에서 펄스전류의 1회 사이클 시간은 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.