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기본조성이 (KxNa1-x)NbO3이며 x=0-1을 만족하는 무연 압전 세라믹막 제조방법에 있어서,
순도 99% 이상의 K2CO3, Na2CO3, Nb2O5의 원료분말을 볼밀장치에 장입한 후 평균입경이 1~3㎛가 되는 혼합분말을 제조하는 단계(a);
상기 혼합분말을 진공상태의 에어로졸챔버에서 이송기체와 혼합하여 에어로졸화 시켜 증착챔버로 이송시킨 후, 상기 증착챔버의 내측에서 노즐을 통해 기판에 분사시켜 0
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기본조성이 (KxNa1-x)NbO3이며 x=0-1을 만족하는 무연 압전 세라믹막 제조방법에 있어서,
순도 99% 이상의 K2CO3, Na2CO3, Nb2O5의 원료분말에 Li2CO3와 Sb2O3의 첨가제를 볼밀장치에 장입한 후 평균입경이 1~3㎛가 되는 혼합분말을 제조하는 단계(a);
상기 혼합분말을 진공상태의 에어로졸챔버에서 이송기체와 혼합하여 에어로졸화 시켜 증착챔버로 이송시킨 후, 상기 증착챔버의 내측에서 노즐을 통해 기판에 분사시켜 0
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제 2 항에 있어서,
상기 단계(a)에서 혼합분말은 97~93 mol% 원료분말과 3~7 mol%의 첨가제를 혼합하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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제 1 항 내지 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단계(b)의 완료 후에는 산소가 존재하는 분위기 중에서 500~800℃의 온도로 1시간 동안 가열하여 열처리하는 단계(c);가 더 실시됨을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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제 4 항에 있어서,
상기 단계(a)에서,
상기 원료분말들은 에틸알콜을 용매로 하는 습식볼밀장치에 세라믹볼과 함께 장입되어 혼합 및 분쇄되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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6
제 5 항에 있어서,
상기 단계(a)에서,
상기 볼밀링된 혼합분말은 300~850℃의 온도로 열처리되어 상합성 및 수분, 유기물의 제거가 이루어지는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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7
제 6 항에 있어서,
상기 노즐은 0
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8
제 4 항에 있어서,
상기 단계(b)에서,
상기 이송기체는 O2 이며, 5~30L/min의 유량으로 공급되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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9
제 4 항에 있어서,
상기 단계(b)에서 기판은 0
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10
제 9 항에 있어서,
상기 단계(b)에서 상기 세라믹막은 상온에서 형성되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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11
제 4 항에 있어서,
상기 단계(b)에서 상기 세라믹막은 구리 또는 니켈(Ni)도금된 구리 기판의 상면에 증착되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹막 제조방법
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12
삭제
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제 1 항 또는 제 2 항의 무연 압전 세라믹막 제조방법에 의해 0
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