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기판을 장착한 상태에서 이송시키는 기판 이송부;기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되며 상기 기판 측으로 전극액을 분사하여 전극라인을 형성하는 이송 노즐부를 구비하는 전극라인 형성부;전원을 인가받아 표면탄성파(surface acoustic wave)를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전극층이 형성되도록 전도성 잉크를 분사하는 증착유닛;을 포함하고,상기 증착유닛은,상기 기판과 이격되게 배치되는 압전 베이스, 상기 압전 베이스 상에 패터닝되는 진동 전극부를 포함하며, 전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시키는 진동발생부;상기 진동발생부에 전도성 잉크를 연속적으로 공급하는 유로부;상기 유로부에 상기 전도성 잉크를 제공하는 공급부;상기 진동발생부에서 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized)된 전도성 잉크가 상기 기판에 증착되도록 상기 미립화된 전도성 잉크의 유동을 상기 기판 측으로 유도하기 위한 정전기력을 인가하는 정전기력 인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제1항에 있어서,상기 진동 전극부는 상호 이격되는 제1진동전극과 제2진동전극을 포함하고, 상기 제1진동전극과 상기 제2진동전극의 사이에는 상기 압전 베이스 상에 형성되는 가상의 분사영역이 형성되며,상기 유로부는 상기 분사영역 상에 전도성 잉크를 공급할 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제2항에 있어서,상기 공급부는 전도성 잉크가 저장되는 저장부; 상기 진동발생부로부터 분사되는 전도성 잉크와 상기 유로부로부터 공급되는 전도성 잉크를 모니터하는 모니터부; 상기 진동발생부로부터 미립화되어 분사되는 전도성 잉크의 유량(flow rate)과 상기 진동발생부에 공급되는 전도성 잉크의 유량이 동일하도록 상기 저장부로부터 상기 유로부로 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어하는 공급제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제3항에 있어서,상기 진동 전극부는 복수개가 상기 압전 베이스 상에 일렬로 배치되고,상기 유로부는 복수개가 상기 각각의 진동 전극부의 분사영역 상에 하나씩 마련되며,상기 공급부는 일단부가 상기 저장부와 연결되고, 타단부는 여러 경로로 나누어져 상기 복수개의 유로부 각각에 연결되는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제2항에 있어서,상기 분사영역 상에 공급되는 전도성 잉크가 변성되는 것이 방지되도록 상기 압전 베이스를 냉각시키기 위한 냉각수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제5항에 있어서,상기 냉각수단은 상기 압전베이스의 하면에 장착되는 펠티에(Peltier) 소자인 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이송 노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제7항에 있어서,상기 전극라인 형성부는 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고,상기 이송 노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제7항에 있어서,상기 이송 노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 이송 노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제9항에 있어서,상기 복수개의 이송 노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되,상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 투명전극 제작 시스템을 이용하여 투명전극 제작하는 방법에 있어서,소정의 이송구간 내에서 왕복 이송되며 전극액을 분사함으로써 이송되는 기판 상에 전극라인을 형성하는 전극라인 형성단계;전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전도성 잉크를 분사하여 전극층을 적층하는 전극층 적층단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작방법
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제11항에 있어서,상기 전극라인 형성단계는 서로 다른 이송구간 내에서 이송되는 복수개의 노즐로부터 전극액을 분사함으로써 전극라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작방법
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