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(a) 고분자 필름을 식각하여 1종 이상의 미세채널을 형성하는 단계:(b) 1종 이상의 채널이 형성된 각각의 고분자 필름 3장 이상을 금속 핀(pin)을 이용하여 적층하되, 최상부와 최하부에 접합공정에 사용되는 온도보다 낮은 용융점을 갖는 보강필름을 더 적층하는 단계; 및(c) 적층된 고분자 필름 3장 이상을 단일 접합공정(one-step multilayered bonding process);을 포함하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a)단계의 고분자 필름은 레이저를 이용하여 유체가 유입되는 유체투입부, 투입된 유체가 흐르는 미세채널부 또는 유입된 유체가 배출되는 유체배출부를 식각하여 형성하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고분자 필름은 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌(Polyethylene), 플루오르화에틸렌프로필렌(fluorinated ethylene propylene), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate) 또는 폴리설폰(polysulfone)을 포함하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고분자 필름은 10 ~ 200 ㎛ 두께의 동종 또는 이종의 필름인 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a)단계의 미세채널은 고분자필름 두께의 1/5 ~ 1의 비율인 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (b)단계의 적층은 미세채널이 형성된 각 고분자 필름 모서리에 동일한 위치에 구멍을 형성하여 금속핀을 이용하여 고정시키는 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (c)단계의 단일 접합공정은 고분자 필름의 유리전이온도(Tg) 내지 용융점의 온도로 가온 가압시켜 적층된 필름을 일체로 접합시키는 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 보강필름과 미세채널이 식각된 고분자 필름 사이에 접합공정에 사용되는 온도보다 높은 용융점을 갖는 고분자 필름을 더 적층하는 것을 포함하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 1종 이상의 유체를 유입시 전체 유입속도 1 ~ 5000 ㎕/min 인 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 적층된 고분자 필름 3장 이상을 단일 접합공정을 실시함으로써 2층 이상의 다층 채널 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 반응기는 1종 이상의 유체를 유입시켜 1단계 이상의 반응을 수행할 수 있는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 반응기는 일련의 반응을 연속적으로 반응할 수 있는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 반응기는 재순환 반응이 가능한 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 반응기는 가요성을 갖는 것을 특징으로 하는 3차원 다층 미세 채널을 가진 필름형 마이크로 반응기의 제조방법
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