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코어물질을 증발, 응축시켜 구상의 코어물질 입자를 발생시키는 코어입자 발생기; 상기 코어입자 발생기로부터 유입되는 코어물질 입자에 쉘물질을 코팅하는 입자코팅 반응기; 및 상기 입자코팅 반응기 내의 압력을 저압으로 유지하는 수단인 진공펌프;를 포함하는 나노입자 코팅장치에 있어서,상기 코어입자 발생기와 입자코팅 반응기 사이에 압력분리 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 나노입자 코팅장치
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제1항에 있어서, 상기 압력분리 수단은 출구측 압력이 입구측 압력의 0
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제1항에 있어서, 상기 코어입자 발생기와 압력분리 수단 사이에 입자분포 조절수단을 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 상기 나노입자 코팅장치
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제3항에 있어서, 상기 입자분포 조절수단은 미분전기영동도 분석기인 것을 특징으로 하는 상기 나노입자 코팅장치
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제1항에 있어서, 상기 입자코팅 반응기의 후단에 코팅된 입자의 크기 및 분포를 측정하는 입자 크기/분포 측정장치를 더 구비하되, 상기 입자코팅 반응기와 입자 크기/분포 측정장치 사이에 저압발생 수단이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 상기 나노입자 코팅장치
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제5항에 있어서, 상기 저압발생 수단은 벤츄리 펌프인 것을 특징으로 하는 상기 나노입자 코팅장치
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코어입자 발생기에서 코어입자를 발생시키는 단계; 및 입자코팅 반응기에서 상기 코어입자에 쉘 물질을 코팅하는 단계를 포함하는 코어-쉘 나노입자의 제조방법에 있어서,상기 코어입자의 발생과 쉘물질의 코팅이 분리된 압력에서 수행되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 압력의 분리는 상기 코어입자 발생기와 입자코팅 반응기 사이에 구비된 압력분리 수단에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 상기 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 코어입자의 발생은 상압에서 수행되고, 상기 쉘물질의 코팅은 500~10Torr에서 수행되는 것을 특징으로 하는 상기 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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코어입자 발생기에서 발생시킨 코어입자에, 저압에서 가동되는 입자코팅 반응기를 이용하여 코팅물질을 코팅하는 코어-쉘 나노입자를 제조함에 있어서,코어입자 발생기만을 가동하고 코어입자만의 크기/분포를 측정하는 단계; 및코어입자 발생기와 입자코팅반응기를 동시에 가동하여 제조된 코어-쉘 나노입자의 크기/분포를 측정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 코어-쉘 나노입자의 코팅두께 측정방법
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