| 1 |
1
유연 기판,상기 유연 기판상에 마련된 전극층,상기 유연 기판과 전극층 상에 형성된 자기 센서층 및 상기 전극층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 유연 기판은 필름 형상으로 이루어진 PC(polycarbonate) 기판, PET(polyethylene terephthalate) 기판, PES(polyethersulfone) 기판, PI(Polyimide) 기판, PEN(Polyethylene Naphthalate) 기판, AryLite 기판 또는 COC(환상 올레핀·코폴리마) 기판 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 자기 센서층은 폐 루프(closed loop) 형상의 자성층이고,상기 전극층은 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 전류가 입/출력되는 한 쌍의 전류단자 및 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 출력전압을 검출하는 한 쌍의 전압단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 자기 센서층은 상기 폐 루프 내부에, 상기 폐 루프와 동일 형상으로 형성되고, 상기 폐 루프와 일정 거리 이격되며, 상기 폐 루프의 형상의 자성층과 동일한 물질로 이루어진 제2 자성층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 자기 센서층은 다각형 구조, 원형 구조 또는 십자형 구조의 자성층인 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 유연 박막 자기저항 센서는 자기장 센서, 바이오 센서, 투자율 센서, 비파괴 검사용 와전류 센서, 자기장 이미징 센서 또는 NMR(nuclear magnetic resonance)센서인 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서
|
| 7 |
7
유연 기판을 마련하는 단계,상기 유연 기판상에 전극층을 형성하는 단계,상기 유연 기판과 전극층 상에 자기 센서층을 형성하는 단계 및 상기 전극층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 전극층은 상기 유연 기판을 부분적으로 압축하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서의 제조방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 자기 센서층은 상기 유연 기판과 전극층의 동일 평면상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서의 제조방법
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 유연 기판은 필름 형상으로 이루어진 PC(polycarbonate) 기판, PET(polyethylene terephthalate) 기판, PES(polyethersulfone) 기판, PI(Polyimide) 기판, PEN(Polyethylene Naphthalate) 기판, AryLite 기판 또는 COC(환상 올레핀·코폴리마) 기판 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서의 제조방법
|
| 10 |
10
제7항에 있어서,상기 자기 센서층은 반강자성 층(AM layer)-강자성 층(FM layer)의 자성다층 박막으로 DC 마그네트론 스퍼터에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서의 제조방법
|
