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AFM 현미경을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템에 있어서,높이측정 모드(Topography Mode)와 마찰력 모드(Friction Mode)로 설정된 AFM 현미경을 이용하여 그래핀 시료(12)를 측정하는 측정부(100);측정된 그래핀 시료(12)의 도메인을 출력하되, 상기 그래핀 시료(12)의 마찰력 맵핑 이미지를 출력하고, 사용자의 입력신호를 받아 상기 마찰력 맵핑 이미지를 횡적으로 자른 특정부분에 대한 마찰력 프로파일 그래프를 출력하는 출력부(200); 상기 마찰력 프로파일 그래프를 이용하여 상기 AFM 팁(11) 진행방향과 상기 그래핀의 주름방향의 관계를 분석하는 분석부(300); 및 상기 분석부(300)에서 분석한 정보를 이용하되, 상기 마찰력 매핑 이미지를 통해, 그래핀의 주름방향을 판단하는 판단부(400); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 측정부(100)는,초기측정지점으로부터 최종측정지점까지의 회전각이 180° 이상 되도록 그래핀 시료(12)를 일정 각도로 최소 5회 이상 나누어 회전시키면서 측정하는 것을 특징으로 하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 출력부(200)는,콘트라스트(contrast) 범위를 그래핀 시료(12) 주변으로 맞추도록 최소범위로 조정하여, 각각의 도메인 간에 대비되는 명암차이를 표시한 마찰력 맵핑 이미지를 출력하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템
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AFM 현미경을 이용한 그래핀 도메인 측정방법에 있어서,(A) 측정부(100)가 마찰력 모드(Friction Mode)로 설정된 AFM 현미경으로 그래핀 시료(12)를 측정하는 과정;(B) 출력부(200)가 마찰력 맵핑 이미지를 출력하되, 콘트라스트(contrast) 범위를 그래핀 시료(12) 주변으로 맞추도록 최소범위로 조정하는 과정;(C) 상기 출력부(200)가 상기 마찰력 맵핑 이미지를 횡적으로 자른 특정부분에 대한 마찰력 프로파일 그래프를 출력하는 과정;(D) 분석부(300)가 상기 마찰력 프로파일 그래프를 이용하여 상기 AFM 팁(11) 진행방향과 상기 그래핀의 주름방향의 관계를 분석하는 과정; 및(E) 판단부(400)가 상기 (D) 과정에서 분석한 정보를 이용하되, 상기 (B) 과정에서 출력한 상기 마찰력 맵핑 이미지를 통해, 각각의 도메인 간에 대비되는 명암차이를 이용하여, 그래핀의 주름방향을 판단하는 과정; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정방법
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제 4 항에 있어서,상기 (A) 과정은,(A-1) 상기 측정부(100)가 마찰력 모드(Friction Mode)로 설정하는 단계; 및(A-2) 상기 측정부(100)가 초기측정지점으로부터 최종측정지점까지의 회전각이 180° 이상 되도록 그래핀 시료(12)를 일정 각도로 최소 5회 이상 나누어 회전시키면서 측정하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정방법
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제 4 항에 있어서,상기 (D) 과정은,(D-1) 상기 분석부(300)가 상기 (C) 과정을 통해 출력된 마찰력 프로파일 그래프를 이용하여, 기판(SiO2)의 마찰력 신호를 기준으로 각각의 도메인의 마찰력 신호와의 비율을 산출하는 단계;(D-2) 상기 분석부(300)가 X축을 상기 그래핀의 회전각도로 하고, 산출된 마찰력의 비율을 Y축으로 하여, 해당되는 지점에 각각 플로팅(plotting)함으로써, 비연속적 그래프를 산출하는 단계;(D-3) 상기 분석부(300)가 상기 (D-2) 단계로부터 산출된 비연속적 그래프를 연결하여 180° 주기를 갖는 sine 형 연속 그래프를 산출하는 단계; 및(D-4) 상기 분석부(300)가 상기 (D-3) 단계에서 산출한 연속적 그래프의 주기성을 이용하여, 상기 AFM 팁(11) 진행방향과 상기 그래핀의 주름방향의 관계를 분석하는 단계; 를 포함하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정방법
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제 4 항에 있어서,상기 (E) 과정은,(E-1) 상기 판단부(400)가 상기 (B) 과정에서 출력한 상기 마찰력 맵핑 이미지(a) 중 가장 밝은 도메인의 주름방향을 AFM 팁(11) 진행방향과 일치방향이라고 판단하는 단계;(E-2) 상기 판단부(400)가 상기 (B) 과정에서 출력한 상기 마찰력 맵핑 이미지 중 가장 어두운 도메인의 주름방향을 AFM 팁(11) 진행방향과 수직방향이라고 판단하는 단계; 및(E-3) 상기 판단부(400)가 상기 (E-1) 단계 및 (E-2) 단계의 명암차이와 주름방향을 이용하되, 상기 (B) 과정에서 출력한 상기 마찰력 맵핑 이미지의 도메인의 명암차이를 대비하여, 각각의 도메인의 주름방향을 판단하는 단계; 를 포함하는 AFM 마찰력 맵핑을 이용한 그래핀 도메인 측정방법
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