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초크랄스키법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 제조장치에 사용되는 잉곳 인상모듈에 있어서,원통 형상의 몸체;상기 몸체 내측에 형성된 적어도 둘 이상의 잉곳 인상부; 및상기 몸체 내측에 형성된 적어도 둘 이상의 홈을 포함하고,상기 잉곳 인상부는,일단이 상기 홈에 연결된 연결부재;상기 연결부재의 타단에 형성된 모터; 및상기 모터의 구동축에 축이음되고, 잉곳 외주면에 접촉하도록 형성된 롤러를 포함하는 잉곳 인상모듈
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청구항1에 있어서,상기 롤러 외주면에는, 탄성부재가 형성된 잉곳 인상모듈
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청구항 3에 있어서,상기 탄성부재는, 고무(rubber)재질로 형성된 잉곳 인상모듈
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초크랄스키법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 제조장치에 있어서,실리콘 용융액을 수용하여 잉곳 제조가 수행되는 챔버;상기 챔버의 상부에 구비되어 회전운동 및 상승운동을 통해 상기 챔버에서 성장된 잉곳을 인상하는 인상기구; 및상기 챔버의 상부에 구비되어 상기 잉곳을 인상하는 잉곳 인상모듈을 포함하고,상기 잉곳 인상모듈은,원통 형상의 몸체;상기 몸체 내측에 형성된 적어도 둘 이상의 잉곳 인상부; 및상기 몸체 내측에 형성된 적어도 둘 이상의 홈을 포함하고,상기 잉곳 인상부는,일단이 상기 홈에 연결된 연결부재;상기 연결부재의 타단에 형성된 모터; 및상기 모터의 구동축에 축이음되고, 상기 잉곳 외주면에 접촉하도록 형성된 롤러를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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청구항 5에 있어서, 상기 롤러 외주면에는, 탄성부재가 형성된 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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청구항 7에 있어서, 상기 탄성부재는, 고무(rubber)재질로 형성된 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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청구항 5, 7, 및 8 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인상기구는, 말단에 시드 결정(seed crystal)이 형성된 봉을 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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