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셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014057560
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 기판 윗면에 박막 형태의 하판을 부착하는 단계; (2) 상기 하판의 윗면에 포토레지스트를 도포하는 단계; (3) 포토마스크를 이용하여 노광 공정을 수행하는 단계; (4) 상기 단계 (2)에서 도포된 포토레지스트를 부분적으로 제거하여 지지대를 형성하는 단계; (5) 상기 단계 (4)에서 형성된 지지대 위에 인가되는 전기 신호에 따라 그 형태가 변형되는 셀룰로오스 박막으로 구성되는 작동부를 부착하는 단계; 및 (6) 상기 단계 (1)의 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.본 발명에서 제안하고 있는 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법에 따르면, 셀룰로오스 박막을 하판 및 작동부로 포함하여 햅틱 액추에이터를 제조함으로써, 얇은 박막 형태로 제조가 가능하고 투명도가 높아 시각 디스플레이 장치 위에 적용이 가능한 햅틱 액추에이터를 제조할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 친환경 소재인 셀룰로오스 박막을 사용함으로써 환경 친화적이고 인체 친화적인 햅틱 액추에이터를 제조할 수 있다.
Int. CL G06F 3/01 (2006.01)
CPC G06F 3/016(2013.01) G06F 3/016(2013.01) G06F 3/016(2013.01)
출원번호/일자 1020110059520 (2011.06.20)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1300287-0000 (2013.08.21)
공개번호/일자 10-2012-0139958 (2012.12.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상연 대한민국 서울특별시 강남구
2 김재환 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김건우 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이동 ***호 특허그룹덕원 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충청남도 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0464501-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.24 수리 (Accepted) 9-1-2012-0079922-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0047048-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0258048-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0258050-42
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0513120-57
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
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번호 청구항
1 1
햅틱 액추에이터의 제조 방법으로서,(1) 기판 윗면에 박막 형태의 하판을 부착하는 단계;(2) 상기 하판의 윗면에 포토레지스트를 도포하는 단계;(3) 포토마스크를 이용하여 노광 공정을 수행하는 단계;(4) 식각(Lithography) 기술을 이용해 상기 단계 (2)에서 도포된 포토레지스트를 부분적으로 제거하여 상기 포토마스크 형태에 따라 지지대를 형성하는 단계;(5) 상기 단계 (4)에서 형성된 지지대 위에 인가되는 전기 신호에 따라 그 형태가 변형되는 셀룰로오스 박막으로 구성되는 작동부를 부착하는 단계; 및(6) 상기 단계 (1)의 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 단계 (1)에서는,상기 하판을 셀룰로오스 박막으로 하는 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 하판 및 작동부는,셀룰로오스 아세테이트 박막인 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 하판 및 작동부는,회전 도포법에 의해 제조된 셀룰로오스 아세테이트 박막인 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계 (2)에서는,상기 포토레지스트를 90~110㎛로 도포하는 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 단계 (3)에서는,픽셀 단위의 격자 또는 라인 패턴의 포토마스트를 이용하여 노광 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 단계 (4)에서 형성된 지지대 위에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하며,상기 단계 (5)에서는,상기 형성된 접착층 위에 상기 작동부를 부착하는 것을 특징으로 하는, 셀룰로오스 기반의 필름형 햅틱 액추에이터의 제조 방법
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