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스퍼터링 장치

  • 기술번호 : KST2014057594
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 챔버; 상기 챔버 내측으로 가스를 공급하는 가스 공급부; 상기 챔버의 일측에 배치되는 타겟; 상기 타겟의 상단에 회전 가능하게 배치되는 회전 마그네트; 기판이 배치될 수 있도록 상기 챔버 내부에 상기 타겟과 대향하여 배치되는 기판 지지부; 링 형태로서 상기 기판의 둘레를 따라 배치되어 상기 기판 지지부에 배치되는 기판에 대하여 균일한 자기장이 형성되도록 하는 마그네트 유닛을 포함하는 스퍼터링 장치를 제공한다.상기와 같은 본 발명은, 스퍼터링 장치에서 사용되는 챔버 내부에서 기판이 배치되는 기판 지지부의 주위를 따라 링 형태의 마그네트 유닛을 배치하여 챔버 내부에 균일한 자기장이 형성될 수 있도록 하여 증착 대상인 기판 상에 균일한 박막이 형성되도록 하는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/354(2013.01) C23C 14/354(2013.01)
출원번호/일자 1020120021108 (2012.02.29)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단, (주)러셀
등록번호/일자 10-1317087-0000 (2013.10.02)
공개번호/일자 10-2013-0099528 (2013.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20131011) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 (주)러셀 대한민국 충청북도 진천군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규만 대한민국 경기 성남시 분당구
2 전표만 대한민국 충북 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충청남도 천안시 동남구
2 (주)러셀 충청북도 진천군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0169027-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0077989-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0413302-47
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0743144-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0743145-24
7 등록결정서
Decision to grant
2013.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0668633-57
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-0055735-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버; 상기 챔버의 일측에 배치되는 타겟; 상기 챔버 내측으로 가스를 공급하는 가스 공급부,상기 타겟의 상단에 회전 가능하게 배치되는 회전 마그네트;기판이 배치될 수 있도록 상기 챔버 내부에 상기 타겟과 대향하여 배치되는 기판 지지부; 링 형태로서 상기 기판의 둘레를 따라 배치되어 상기 기판 지지부에 배치되는 기판에 대하여 균일한 자기장이 형성되도록 하는 마그네트 유닛을 포함하고,상기 마그네트 유닛은 링 형태의 유닛 본체와, 상기 유닛 본체 상에 일정한 각거리로서 배치되는 복수개의 단위 마그네트를 포함하는 스퍼터링 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 가스 공급부에서 공급되는 가스는 아르곤(Ar), 실레인(silane)(SiH4), 수소(H2), 산소(O2)를 포함하는 스퍼터링 장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 복수개의 단위 마그네트는 동일한 형태와 동일한 자력을 영구 자석인 스퍼터링 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 마그네트 유닛에 의해 형성되는 자기장은 630~650 가우스(G)인 스퍼터링 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 마그네트 유닛은 니켈(Ni), 철(Fe)을 포함하는 스퍼터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.