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마이크로 블레이드 제조를 위한 혼합금속분말 장입장치

  • 기술번호 : KST2014057605
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 등의 반도체 소자를 절단하기 위한 마이크로 블레이드를 제조하는데 사용되는 장치에 관한 것이다.본 발명의 장치는, 마이크로 블레이드의 제조를 위해 금속혼합분말을 금형에 장입하는데 사용되는 것으로서, 성형공간을 갖는 금형이 안치되는 금형안치몸체; 상기 금형안치몸체를 회전시켜 안치된 금형을 회전시켜줄 수 있는 금형회전수단; 금속혼합분말을 금형안치몸체에 안치된 금형의 성형공간으로 공급하는 금속혼합분말공급수단; 및 상기 금형안치몸체에 안치된 금형의 성형공간에 위치시키거나 이탈시킬 수 있으며, 금형의 성형공간에 위치시킬 경우 성형공간으로 투입된 금속혼합분말이 접촉되고 금형의 회전에 의해서 금속혼합분말이 밀리면서 성형공간에 펼쳐지도록 하는 분말펼침판;을 포함하여 구성된다. 본 발명의 장치를 사용하면, 편평도가 매우 좋으면서 균일한 밀도를 갖는 마이크로 블레이드용 예비성형체를 얻을 수 있는 상태로 금속혼합분물을 금형에 장입할 수 있고, 이는 곧 래핑시간을 줄일 수 있으며, 금속혼합분말 등의 원재료 사용량을 줄일 수 있고, 불량률을 낮추어 생산성을 향상시키는 결과를 발생시킨다.
Int. CL B22F 3/00 (2006.01) B22F 5/00 (2006.01)
CPC B22F 3/004(2013.01)B22F 3/004(2013.01)B22F 3/004(2013.01)
출원번호/일자 1020110122020 (2011.11.22)
출원인 한밭대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1305275-0000 (2013.09.02)
공개번호/일자 10-2013-0056416 (2013.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20130906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박덕용 대한민국 대전광역시 서구
2 문정수 대한민국 대전광역시 서구
3 윤남이 대한민국 충청북도 청원군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0922810-19
2 보정요구서
Request for Amendment
2011.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0110698-05
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0943228-82
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0033419-84
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0373705-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0676794-85
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0676799-13
9 등록결정서
Decision to grant
2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0582873-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085888-54
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5058417-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
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번호 청구항
1 1
삭제
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마이크로 블레이드의 제조를 위해 금속혼합분말을 금형(1)에 장입하는데 사용되는 것에 있어서,도넛 형태의 성형공간(1a)을 갖는 금형(1)이 안치되는 금형안치몸체(10);상기 금형안치몸체(10)를 회전시켜 안치된 금형(1)을 회전시켜줄 수 있는 금형회전수단(20);금속혼합분말을 금형안치몸체(10)에 안치된 금형(1)의 성형공간(1a)으로 공급하는 금속혼합분말공급수단(30);상기 금형안치몸체(10)에 안치된 금형(1)의 성형공간(1a)에 위치시키거나 이탈시킬 수 있으며, 금형(1)의 성형공간(1a)에 위치시킬 경우 성형공간(1a)으로 투입된 금속혼합분말(2)이 접촉되고 금형(1)의 회전에 의해서 금속혼합분말(2)이 밀리면서 성형공간(1a)에 펼쳐지도록 하는 분말펼침판(40); 및상기 분말펼침판(40)을 성형공간(1a)의 상, 하로 이동시킬 수 있는 레벨러(50);를 포함하여 구성된, 마이크로 블레이드 제조를 위한 금속혼합분말의 장입장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 금속혼합분말공급수단(30)은 일정량의 금속혼합분말을 피스톤의 움직임을 통해 이동시키는 실린더(31);상기 실린더(31)에 의해 이동된 금속혼합분말이 금형(1)의 성형공간(1a)으로 미끄러져 내리도록 경사면(32a)을 형성하고 있는 분말투입가이드(32);를 갖는, 마이크로 블레이드 제조를 위한 금속혼합분말의 장입장치
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제 2항에 있어서,상기 분말펼침판(40)의 상, 하 이동은 동력에 의해 이루어지도록 되어 있는 것을 특징으로 하는, 마이크로 블레이드 제조를 위한 금속혼합분말의 장입장치
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제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분말펼침판(40)의 상, 하 이동거리를 확인할 수 있는 디스플레이장치나 눈금자가 더 구비되어 있는, 마이크로 블레이드 제조를 위한 금속혼합분말의 장입장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부/지식경제부/한국산업기술진흥원 한밭대학교 산학협력단 2단계 산학협력중심대학육성사업 기술개발과제 레진 및 금속분말 소결방법에 의해 제조된 마이크로 블레이드 제조기술 개발