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밸런싱 기능을 갖는 서셉터 및 이를 이용하는 증착 공정장비

  • 기술번호 : KST2014057694
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 서셉터가 구비된 증착 공정장가 개시된다. 원판 형상을 가지며 복수개의 기판을 지지한 상태로 중심축을 기준으로 회전 가능하도록 형성된 본체 및 상기 본체가 복수개의 기판을 지지한 상태로 회전할 때 편심 질량을 밸런싱 하여 회전시 발생되는 진동을 저감시키는 밸런싱부를 포함한다. 박막의 증착 공정속도를 상승시키고 불량률을 낮추기 위해 본체의 외주면을 따라 편심을 없애고 진동을 억제하는 밸런싱부가 배치된 서셉터를 제공한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01)
CPC H01L 21/68771(2013.01) H01L 21/68771(2013.01)
출원번호/일자 1020120009998 (2012.01.31)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1321582-0000 (2013.10.17)
공개번호/일자 10-2013-0088630 (2013.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20131028) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임경화 대한민국 충청남도 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층(역삼동, 메디빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충청남도 천안시 동남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0082330-69
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0330560-30
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0628787-06
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0628785-15
5 등록결정서
Decision to grant
2013.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0517241-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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원판 형상을 가지며 복수개의 기판을 지지한 상태로 중심축을 기준으로 회전 가능하도록 형성된 본체; 및 상기 본체가 복수개의 기판을 지지한 상태로 회전할 때 편심 질량을 밸런싱 하여 회전시 발생되는 진동을 저감시키는 밸런싱부를 포함하고,상기 밸런싱부는,상기 본체의 외주면 둘레에 마련된 링 형상의 케이싱; 및 상기 케이싱 내부에 자유롭게 이동 가능하도록 복수개의 볼을 구비하며,상기 밸런싱부가 구비하는 볼의 질량과 개수는 아래식에 의해 정해지며,여기서, 는 볼 질량, 는 볼링 반경(본체 회전축으로부터 볼 중심까지의 거리), 는 볼 위치각도 는 본체의 불평형량, 는 각 기판의 배치 불량에 의한 불평형량 및 는 기판의 개수인 것을 특징으로 하는 서셉터
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삭제
3 3
삭제
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청구항 1에 기재된 서셉터를 포함하는 증착 공정 장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.