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기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리부; 상기 기판 하부에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영부; 및상기 기판 측면에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영부; 및상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립하는 조립부;를 포함하되,상기 조립부는,강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립하고, 상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치되며, 상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 성형부는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 성형부는, 이광자 광조형 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 성형부는, 기판이 안치되는 기판 안치대; 및 상기 기판 안치대 위에 놓인 기판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 분리부는, 상기 마이크로 파트에 접촉하여 상기 마이크로 파트를 분리하는 프로브; 상기 프로브에 힘을 제공하는 분리 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 분리부는, 상기 프로브를 지지하며, 프로브의 자세를 바꿀 수 있도록 하는 프로브 홀더; 및상기 프로브가 상기 마이크로 파트에 닿을 수 있도록 길이를 조절하는 로드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 프로브가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 모터 스테이지; 및 상기 분리 모터 및 상기 모터 스테이지를 지지하는 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 촬영부는, 제 1 일루미네이터; 상기 제 1 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 1 집속 렌즈; 제 1 대물 렌즈; 상기 제 1 대물 렌즈의 영상을 제 1 CCD 카메라로 전달하는 제 1 전달 렌즈; 및 제 1 CCD 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 촬영부는, 제 2 일루미네이터; 상기 제 2 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 2 집속 렌즈; 제 2 대물 렌즈; 상기 제 2 대물 렌즈의 영상을 제 2 CCD 카메라로 전달하는 제 2 전달 렌즈; 및 제 2 CCD 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치
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기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리 단계; 상기 기판 하부에 위치하는 제 1 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영 단계;상기 기판 측면에 위치하는 제 2 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영 단계; 및상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립하는 조립 단계;를 포함하되,상기 조립 단계는, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립하고, 상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치하며,상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 성형 단계는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 성형 단계는, 이광자 광조형 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법
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