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PDMS(polydimethylsiloxane) 접합장치에 있어서,PDMS의 일면이 부착되는 상부 재치기구;상기 PDMS의 타면과 접합되는 기판을 유지하는 하부 재치기구; 및상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구가 미리 결정된 간격으로 이격되면 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구 사이의 공간으로 진입하여 상기 PDMS의 타면 및 상기 기판에 플라즈마 처리를 하는 플라즈마 처리기를 포함하며, 상기 플라즈마 처리기는 상하 양방향으로 플라즈마 처리를 수행하고 상압하에서 작동되는 O2 플라즈마 처리기인 것을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제1항에 있어서, 상기 O2 플라즈마 처리기는상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구 사이의 공간에서 이동하는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제1항에 있어서, 상기 상부 재치기구는 상기 PDMS의 일면을 부착 유지하기 위해 유리(GLASS)로 형성되는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제4항에 있어서, 상기 하부 재치기구는 공압에 의해 상기 기판을 유지하는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제1항에 있어서,상기 PDMS의 타면에는 미리 결정된 형상의 패턴이 형성되고, 상기 PDMS의 타면에 접합되는 상기 기판에는 상기 미리 결정된 형상의 패턴에 대응되는 패턴이 형성되어 서로 접합되는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제1항에 있어서, 상기 상부 재치기구는상기 PDMS의 타면이 상기 기판과 평평한 상태로 접합될 수 있도록 상기 PDMS의 기울어짐을 보정하기 위한 보정장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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제7항에 있어서, 상기 보정장치는볼 베어링을 구비하여 상기 PDMS의 기울어짐을 보정하는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합장치
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PDMS(polydimethylsiloxane) 접합방법에 있어서,(a) 미리 결정된 패턴이 형성된 PDMS와 상기 PDMS의 미리 결정된 패턴에 대응되는 패턴을 갖는 기판을 준비하는 단계;(b) 상기 PDMS와 상기 기판을 접합하여 상기 PDMS와 상기 기판을 정렬하는 단계;(c) 상기 PDMS와 상기 기판을 이격시킨 후 상기 PDMS와 상기 기판 사이로 플라즈마 처리기를 통과시켜 상기 PDMS와 상기 기판의 표면을 활성화 시키는 단계; 및(d) 상기 PDMS와 상기 기판을 접합시키는 단계를 포함하며, 상기 (c)단계는 상하 양방향으로 플라즈마 처리를 수행하고 상압하에서 작동되는 O2 플라즈마 처리기에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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제9항에 있어서, 상기 O2 플라즈마 처리기는상기 PDMS와 상기 기판 사이의 공간에서 수평이동하면서 상기 PDMS와 상기 기판의 표면에 플라즈마 처리를 하는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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제9항에 있어서, 상기 (b)단계는 (b1) 상기 PDMS와 상기 기판을 고정 유지하기 위해 상부 재치기구와 하부 재치기구를 갖는 PDMS 접합장치를 준비하는 단계;(b2) 상기 상부 재치기구에 상기 PDMS를 부착하고 상기 하부 재치기구에 상기 기판을 부착하는 단계;(b3) 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구의 간격을 좁혀 상기 PDMS와 상기 기판을 접촉시키는 단계; 및(b4) 상기 PDMS의 미리 결정된 패턴과 상기 PDMS의 미리 결정된 패턴에 대응되는 패턴을 갖는 기판이 미리 정해진 위치에서 결합될 수 있도록 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구를 조작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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제12항에 있어서, 상기 (c)단계는 (c1) 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구를 서로 이격시키는 단계; 및(c2) 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구에 의해 이격된 공간으로 플라즈마 처리기를 통과시키면서 상기 PDMS와 상기 기판의 표면을 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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제13항에 있어서, 상기 (d)단계는 상기 상부 재치기구와 상기 하부 재치기구의 간격을 좁혀 상기 PDMS와 상기 기판을 접합하는 것임을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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제12항에 있어서, 상기 (b3)단계는상기 PDMS와 상기 기판을 접촉시킨 후 상기 PDMS와 상기 기판이 평평한 상태로 접합될 수 있도록 상기 PDMS의 기울어짐을 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 PDMS 접합방법
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