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일면에 전도성 필름이 형성된 가요성 부재를 레이저 시스템의 위치 이동부 상에 안착시키는 단계;상기 레이저 시스템을 이용해 극초단 펄스 레이저를 발생시키는 단계; 및상기 위치 이동부와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 전도성 필름에 조사하여 전도성 필름 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 전도성 필름은 인듐틴옥사이드, 탄소나노튜브, 산화물-금속-산화물, 그래핀 중에 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 층으로 형성되고, 상기 극초단 펄스 레이저는 적외선 파장을 가지고 적어도 100 kHZ의 반복률을 가지는 것을 특징으로 하는 전도성 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 펨토초 레이저, 피코초 레이저, 펨토초 광섬유 레이저 및 피코초 광섬유 레이저 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전도성 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 전도성 필름 패턴의 선폭은 상기 극초단 펄스 레이저를 집광하는 렌즈의 배율과 펄스 에너지의 조절에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 전도성 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 위치 이동부와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행함과 동시에 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 전도성 필름에 조사하여 전도성 필름 패턴을 형성하는 단계에서는, 위치 이동부를 이동시키거나 극초단 펄스 레이저를 스캐닝 하여 전도성 필름을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 전도성 필름 패터닝 방법
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다수의 화소가 정의된 가요성 부재를 준비하는 단계;상기 가요성 부재 상에 전도성 필름을 형성하는 단계;상기 가요성 부재를 레이저 시스템의 위치 이동부 상에 안착시키는 단계;상기 레이저 시스템을 이용해 극초단 펄스 레이저를 발생시키는 단계; 및상기 위치 이동부와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 전도성 필름에 조사하여 패터닝함으로써 가요성 부재 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 전도성 필름은 인듐틴옥사이드, 탄소나노튜브, 산화물-금속-산화물, 그래핀 중에 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 층으로 형성되고, 상기 극초단 펄스 레이저는 적외선 파장을 가지고 적어도 100 kHZ의 반복률을 가지는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 펨토초 레이저, 피코초 레이저, 펨토초 광섬유 레이저 및 피코초 광섬유 레이저 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 전도성 필름 패턴의 선폭은 상기 극초단 펄스 레이저를 집광하는 렌즈의 배율과 펄스 에너지의 조절에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 위치 이동부와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 전도성 필름에 조사하여 패터닝함으로써 가요성 부재 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계에서는, 위치 이동부를 이동시키거나 극초단 펄스 레이저를 스캐닝하여 전도성 필름을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 위치 이동부와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 전도성 필름에 조사하여 패터닝함으로써 가요성 부재 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계에서는, 극초단 펄스 레이저를 필름에 조사하여 각 화소에 투명전극을 형성함과 동시에 각 투명전극마다 다수의 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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