| 1 |
1
기판; 및 상기 기판 상에 서로 이격되어 배치되고, 개구부가 상기 기판의 상부로 배향된 복수 개의 금속 나노컵을 포함하고,상기 금속은 백금(Pt), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 티탄(Ti)으로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 합금인 전극
|
| 2 |
2
기판; 및 상기 기판 상에 서로 이격되어 배치되고, 제1 개구부가 상기 기판의 상부로 배향된 복수 개의 금속 나노링을 포함하고,상기 금속은 백금(Pt), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 티탄(Ti)으로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 합금인 전극
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 나노컵은 개구부가 원형, 타원형 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 나노링은 제1 개구부가 원형, 타원형 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극은 염료감응형 태양전지의 환원전극인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 기판은 투명전도성 기판인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 8 |
8
제6항에 있어서, 상기 전극은 백금(Pt), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 티탄(Ti)으로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 합금으로 구성되는 금속층을 추가적으로 포함하고,상기 금속층은 상기 기판 상에 형성되며, 상기 복수 개의 금속 나노컵 또는 금속 나노링은 상기 금속층 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 전극
|
| 9 |
9
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극은 연료전지의 전극인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 기판은 전도성의 다공질 기판인 것을 특징으로 하는 전극
|
| 11 |
11
기판상에 고분자층을 형성하는 단계;상기 고분자층에 상기 기판의 상부 면이 노출되도록 홀 패턴을 형성하는 단계;상기 기판을 회전시키면서, 상기 홀 패턴을 통해 노출된 상기 기판의 상부면과 상기 홀 패턴의 내주연에 금속을 경사입사증착(angle deposition)하여 금속 나노컵 또는 금속 나노링을 형성하는 단계; 및 상기 고분자층을 제거하는 단계를 포함하는 전극 제조방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 기판은 백금(Pt), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 티탄(Ti)으로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 합금으로 구성되는 금속층을 추가적으로 포함하고,상기 금속층은 상기 기판과 고분자층 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 상기 홀은 내주연이 원형, 타원형 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
| 14 |
14
제11항에 있어서, 상기 고분자층은 희생층 및 레지스트층이 순차 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
| 15 |
15
제11항에 있어서, 상기 홀 패턴을 형성하는 단계는 나노 임프린트 리소그래피, 레이저 간섭 리소그래피, 포토 리소그래피, X-ray 리소그래피, 전자빔 리소그래피 및 이온빔 리소그래피로 구성되는 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 조합에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
| 16 |
16
제11항에 있어서, 상기 고분자층은 습식 식각법에 의하여 제거되는 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
| 17 |
17
제11항에 있어서, 상기 금속은 백금(Pt), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 티탄(Ti)으로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 합금인 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
|
