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일측 끝단이 고정되고 타측 끝단은 받쳐지지 않는 상태의 외팔보로 구성된 압전체(110); 및상기 압전체(110)의 일측으로부터 소정거리 이격된 상부에 구비되는 양단지지형 빔(120);을 포함하는 것을 특징으로 하는 양단 고정형 압전박막 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 압전체(110)는,외팔보로 구성되어 스틸, 플라스틱, PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 실리콘 중에 어느 하나의 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 양단 고정형 압전박막 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 양단지지형 빔(120)은,상기 압전체(110)의 일측으로부터 소정거리 이격된 상단에 양단을 지지하는 지지부(121); 및상기 지지부(121) 각각을 연결하도록 그 상측에 구비된 빔(122);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 양단 고정형 압전박막 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 양단지지형 빔(120)은,상기 압전체(110)로부터 기계적 충격을 인가받아 기계에너지를 전기에너지로 변환하되,전기에너지로의 변환을 응력에 비례하여 변환시키 위해 압전재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 양단 고정형 압전박막 구조체
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제 4 항에 있어서,상기 압전재료는,탈탄산 리튬, 니오브산 리륨, PZT(지르코산 티탄산연)계 세라믹스, 티탄산 바륨, 불소수지폴리머(Polyviny-lidene Fluoride, PVDF) 또는 PMN-PT 중에 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 양단 고정형 압전박막 구조체
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