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소다 라임 유리기판에 붕소를 열 확산 또는 증기 확산시킨 후, AZO층을 형성하고, 이를 어닐링 하여 AZO층에 붕소가 확산 되게 하여 ABZO로 된 투명전도막 기판 제작 방법
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소다 라임 유리기판에 BSG(Boron Silicated Glass)층을 형성하고, 그 위에 AZO층을 형성하고, 이를 어닐링 하여 AZO층에 붕소가 확산 되게 하여 ABZO로 된 투명전도막 기판 제작 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 어닐링 온도는 200 내지 700 ℃로 하는 투명전도막 기판 제작 방법
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화학 기상 증착법을 사용하여, 소다 라임 유리 기판 위에 ZnO 층을 형성함과 동시에 Al과 B를 동시 도핑 하여 ABZO층을 형성하는 투명전도막 기판 제작 방법
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제2항에 있어서, 소다라임 기판 상에 증착된 BSG층에 포함된 붕소의 농도가 1 내지 20 %인 것을 특징으로 하는 투명전도막 기판 제작 방법
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제 5항에서, 소다라임 기판 상에 증착된 BSG층에 포함된 붕소의 농도가 2 내지 10 %인 것을 특징으로 하는 투명전도막 기판 제작 방법
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