| 1 |
1
파이프 형태의 연마 대상물의 내측에 연결되는 공급로;상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 연마액을 공급하여 상기 연마 대상물의 내부면이 연마되도록 하는 연마액 공급부;상기 연마 대상물에 연통되어 상기 연마 대상물로부터의 상기 연마액의 배출경로를 형성하는 배출로;상기 공급로와 상기 연마 대상물의 세정을 위한 세정액을 공급하는 세정액 공급부;상기 공급로와 상기 세정액 공급부를 연결하여, 상기 세정액 공급부로부터의 상기 세정액이 상기 공급와 상기 연마 대상물 내측으로 공급되도록 하는 세정액 공급로;상기 배출로로 배출되는 상기 세정액의 전도도 및 수소 이온 농도 중 적어도 어느 하나를 기반으로 상기 연마 대상물과 상기 공급로의 세척 상태를 검출하는 검출부; 및상기 배출로와 상기 검출부를 연결하는 검출로를 포함하는 화학 연마장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 배출로와 상기 연마액 공급부를 연결하여, 상기 연마액이 상기 연마액 공급부로 회수되도록 하는 연마액 회수로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,상기 연마 대상물의 히팅을 위한 온수를 공급하는 온수 공급부; 및 상기 공급로와 상기 온수 공급부를 연결하여, 상기 연마 공급부로부터의 상기 온수가 상기 연마 대상물 내측으로 공급되도록 하는 온수 공급로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마장치
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 연마 대상물 내부면의 산화막 제거를 위한 산화막 제거액을 공급하는 산화막 제거액 공급부; 및상기 공급로와 상기 산화막 제거액 공급부를 연결하여, 상기 산화막 제거액 공급부로부터의 상기 산화막 제거액이 상기 연마 대상물 내측으로 공급되도록 하는 산화막 제거액 공급로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마장치
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 배출로와 상기 산화막 제거액 공급부를 연결하여, 상기 산화막 제거액이 상기 산화막 제거액 공급부로 회수되도록 하는 산화막 제거액 회수로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마장치
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,상기 연마 대상물의 내측으로 공급되는 가스를 제공하는 가스 공급부; 및상기 공급로와 상기 가스 공급부를 연결하여, 상기 가스 공급부로부터의 상기 가스가 상기 연마 대상물 내측으로 공급되도록 하는 가스 공급로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마장치
|
| 9 |
9
파이프 형태의 연마 대상물의 내측에 연결된 공급로를 통해 연마액이 상기 연마 대상물의 내측으로 공급되는 연마액 공급단계;상기 연마 대상물의 내부면이 상기 연마액에 의해 연마되는 연마단계;상기 연마 대상물에 연통된 배출로를 통해 상기 연마 대상물로부터의 상기 연마액이 배출되는 연마액 배출단계;상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 세정액이 공급되어 상기 연마 대상물 내측에 잔류된 상기 연마액이 세정되는 제 1세정단계;상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 산화막 제거액이 공급되어 상기 연마 대상물 내부면의 산화막이 제거되는 산화막 제거단계;상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 세정액이 공급되어 상기 연마 대상물 내측에 잔류된 상기 산화막 제거액이 세정되는 제 2세정단계; 및상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 세정액이 공급되며 상기 연마 대상물로부터 배출되는 세정액의 전도도 및 수소 이온 농도 중 적어도 어느 하나를 기반으로 상기 연마 대상물의 세척 상태가 검출되는 검출단계를 포함하는 화학 연마 방법
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서,상기 연마액 공급단계 이전에,상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 온수가 공급되어 상기 연마 대상물이 히팅되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마방법
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
제 9항에 있어서,상기 검출단계 이후에,상기 공급로를 통해 상기 연마 대상물의 내측으로 가스가 공급되며 상기 연마 대상물이 건조되는 건조 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 연마방법
|
