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기판 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 전극쌍을 복수 개 형성하는 단계;상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 정렬된 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 가열하여 금속 산화물을 포함하는 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계는 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터를 이용하며,상기 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터는 용액 저장 장치, 노즐, 상기 용액 저장 장치에 압력을 가하여 상기 노즐로 용액을 토출시키는 토출 조절기, 상기 기판을 지지하고 접지된 콜렉터, 상기 노즐에 전압을 인가하는 전압 인가 장치, 상기 콜렉터를 이동시키는 로봇 스테이지 및 상기 노즐과 상기 콜렉터 사이의 거리를 조절하는 마이크로 거리 조절기를 포함하고, 상기 전압이 인가된 노즐과 접지된 콜렉터 사이에 전기장이 존재하는 프린터이며,상기 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계에서, 밀폐되고 환풍기가 구비된 하우징 내에 상기 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터를 배치하고, 상기 환풍기를 이용하여 하우징 내 증기압을 조절하여서 용매의 증발 속도를 조절하는 것을 포함하는 것인,가스센서 나노어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계는,금속 산화물 전구체 및 유기 소재를 증류수 또는 유기 용제에 혼합하여 금속 산화물 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계; 및상기 금속 산화물 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 이용하여 상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 정렬된 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물을 포함하는 나노선 패턴은 수평 정렬된 것을 특징으로 하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 정렬된 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계는,상기 소스 전극 및 드레인 전극마다 각기 다른 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소스 전극 및 드레인 전극의 두께는 1nm 내지 1㎛인 것을 특징으로 하는 가스센서 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물 전구체/유기 복합 나노선 패턴을 가열하는 단계는,100 ℃ 내지 900 ℃ 의 온도 하에서, 1 시간 내지 24 시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물 전구체는 산화아연 전구체, 산화인듐 전구체, 산화주석 전구체, 산화텅스텐 전구체, 산화알루미늄 전구체, 산화티타늄 전구체, 산화바나듐 전구체, 산화몰리브데늄 전구체, 산화구리 전구체, 산화니켈 전구체, 산화철 전구체, 산화크롬 전구체 및 산화비스무스 전구체로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 유기 소재는 폴리비닐 알코올(PVA), 폴리에틸렌 옥사이드(PEO), 폴리스티렌(PS), 폴리카프로락톤(PCL), 폴리아크릴로니트릴(PAN), 폴리(메틸 메타크릴레이트)(PMMA), 폴리이미드, 폴리(비닐리덴 플루오라이드)(PVDF), 폴리아닐린(PANI), 폴리비닐클로라이드(PVC), 나일론, 폴리(아크릴산), 폴리(클로로 스티렌), 폴리(디메틸 실록산), 폴리(에테르 이미드), 폴리(에테르 술폰), 폴리(알킬 아크릴레이트), 폴리(에틸 아크릴레이트), 폴리(에틸 비닐 아세테이트), 폴리(에틸-co-비닐 아세테이트), 폴리(에틸렌 테레프탈레이트), 폴리(락트산-co-글리콜산), 폴리(메타크릴산)염, 폴리(메틸 스티렌), 폴리(스티렌 술폰산)염, 폴리(스티렌 술포닐 플루오라이드), 폴리(스티렌-co-아크릴로니트릴), 폴리(스티렌-co-부타디엔), 폴리(스티렌-co-디비닐 벤젠), 폴리(비닐 아세테이트), 폴리락타이드, 폴리(비닐 알콜), 폴리아크릴아미드, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보네이트, 폴리(디메틸실록산-co-폴리에틸렌옥사이드), 폴리(에테르에테르케톤), 폴리에틸렌, 폴리에틸렌이민, 폴리이소프렌, 폴리락타이드, 폴리프로필렌, 폴리술폰, 폴리우레탄, 폴리(비닐피로리돈), 폴리(페닐렌 비닐렌) 및 폴리(비닐 카바졸)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기유기 용제는 다이클로로에틸렌, 클로로포름, 클로로벤젠, 다이클로로벤젠, 다이클로로메탄, 스티렌, 다이메틸포름아미드, 다이메틸설폭사이드, 트리클로로에틸렌, 테트라하이드로퓨란, 자일렌, 톨루엔, 사이클로헥센, 이소프로필알콜, 아세토나이트릴, 에탄올, 메탄올, 부탄올, 및 아세톤으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 가스센서 나노어레이의 제조방법
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