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제1전극판을 구비한 제1판막;상기 제1전극판을 향하는 제2전극판을 구비하는 제2판막;상기 제2전극판을 덮으면서 상기 제2판막에 구비되는 절연층; 및상기 제1전극판과 상기 절연층 사이에 배치되어 상기 제1전극판과 상기 제2전극판에 대응하는 챔버를 형성하고, 상기 챔버에 미세 액체금속 액적을 수용하는 본체을 포함하는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 본체는 상기 챔버를 복수로 구비하고,상기 제1전극판과 상기 제2전극판은 상기 챔버 각각에 대응하여 서로 마주하는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제2항에 있어서,상기 제1전극판은,제1방향을 따라 복수로 배치되어 연결되는 제1전극라인을 형성하고 상기 제1전극라인을 상기 제1방향에 교차하는 제2방향을 따라 복수로 배치하여 형성되는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제3항에 있어서,상기 제2전극판은,상기 제2방향을 따라 복수로 배치되어 연결되는 제2전극라인을 형성하고 상기 제2전극라인을 상기 제2방향에 교차하는 제1방향을 따라 복수로 배치하여 형성되는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제4항에 있어서,상기 챔버는,상기 제1전극라인과 상기 제2전극라인이 교차하는 복수의 교차점에 대응하여 배치되는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 챔버는,상기 본체의 평면에 대하여 수직하는 수직 내벽을 형성하는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 챔버는,상기 본체의 평면에 대하여 경사진 경사 내벽을 형성하는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 미세 액체금속 액적은,상기 챔버의 내벽, 상기 절연층 및 상기 제1전극판에 접촉되는 구로 형성되는 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제8항에 있어서,상기 미세 액체금속 액적은 수은으로 형성되고상기 미세 액체금속 액적의 직경은 50㎛ 내지 2mm인 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 제1판막은 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성되고,상기 제1판막의 두께는 50㎛ 내지 1mm인 미세 액체금속 액적을 이용한 촉각센서
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