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구리 증기를 이용한 그래핀 합성방법 및 이에 따라 합성된 그래핀을 포함하는 소자

  • 기술번호 : KST2014058783
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 구리 증기를 이용한 그래핀 합성방법이 제공된다. 상세하게는, 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 상기 기판과 이격하여 구리박(Cu foil)을 위치시켜, 상기 구리박(Cu foil)으로부터 구리(Cu) 증기를 형성한 후, 상기 기판 상에 그래핀 전구체 가스를 접촉시킴으로써 상기 그래핀 전구체 가스가 상기 구리(Cu) 증기에 의해 그래핀 합성 반응이 촉진되며 상기 기판 상에 그래핀이 합성되는 구리 증기를 이용한 그래핀 합성방법이 제공된다. 별도의 전사(transfer) 공정을 거치지 않음으로써, 이에 그래핀의 손상 및 오염이 최소화된 고품질의 단일층 그래핀(SLG) 합성이 가능해질 수 있고, 간단한 공정으로 제조할 수 있어 비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 다양한 유전체 기판에 적용될 수 있어, 이를 이용하여 제작된 소자의 활용범위가 확장될 수 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01)
출원번호/일자 1020130126791 (2013.10.23)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1548424-0000 (2015.08.24)
공개번호/일자 10-2015-0047048 (2015.05.04) 문서열기
공고번호/일자 (20150828) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최희철 대한민국 경북 포항시 남구
2 김형기 대한민국 경북 포항시 남구
3 송인택 대한민국 경기 파주시 가람로 **, ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0960735-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0706312-22
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-1199113-71
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0108033-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0264489-36
7 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.03.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0264490-83
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0268132-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.05.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0508813-94
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0508811-03
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0563014-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 상기 기판과 이격하여 구리박(Cu foil)을 위치시키는 단계;상기 구리박(Cu foil)으로부터 구리(Cu) 증기를 형성하는 단계; 및5 Torr 이내의 압력에서 상기 기판 상에 그래핀 전구체 가스를 접촉시켜 상기 기판 상에 그래핀을 합성하는 단계를 포함하며,상기 그래핀 전구체 가스는 상기 구리(Cu) 증기에 의해 그래핀 합성 반응이 촉진되는 것을 특징으로 하는 구리 증기를 이용한 그래핀 합성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 기판은 산화실리콘(SiO2)/실리콘(Si), 석영(quartz), 또는 질화 붕소(hexagonal-Boron Nitride, h-BN)를 포함하는 유전체 기판인 것을 특징으로 하는 그래핀 합성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 구리박(Cu foil)으로부터 구리(Cu) 증기를 형성하는 단계는, 구리박을 고온에서 기화시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 합성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 그래핀 전구체 가스는 일산화탄소, 메탄, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 프로필렌, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 및 톨루엔 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 합성방법
5 5
제1항에 있어서,상기 기판에 그래핀 전구체 가스를 접촉시켜 상기 기판 상에 그래핀을 합성하는 단계에서 상기 기판에 상기 그래핀 전구체 가스와 함께 아르곤(Ar) 또는 질소(N2)로 구성된 캐리어 가스 및 수소(H2)를 접촉시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 합성방법
6 6
제1항에 있어서,상기 기판에 그래핀 전구체 가스를 접촉시켜 상기 기판 상에 그래핀을 합성하는 단계는, 화학기상증착법(Chemical vapor deposition, CVD)을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀 합성방법
7 7
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 액계 분자 기반 저차원 구조체의 결정면 차이에 따른 광-전기 특성 연구