요약 | 본 발명은 금속 나노선 패턴을 포함하는 나노선 전극 어레이의 제조방법에 관한 것으로, 금속 전구체 및 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용제에 혼합하여 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계, 기판으로부터 수직으로 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 적하하여, 상기 기판 상에 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함함에 따라, 금속 나노선 패턴의 위치와 방향을 정확히 조절할 수 있고, 금속 나노선 패턴을 원하는 방향에 정렬시킬 수 있다. 따라서, 나노선 패턴의 해상도가 향상된 나노선 전극 어레이를 제공할 수 있다. 또한, 제조공정이 빠르고 간소화된 나노선 전극 어레이의 제조방법을 제공할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 21/28 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130142939 (2013.11.22) |
출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1520190-0000 (2015.05.07) |
공개번호/일자 | 10-2014-0098661 (2014.08.08) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20150513) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020130011503 | 2013.01.31
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법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.11.22) |
심사청구항수 | 28 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 포항공과대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 이태우 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
2 | 이영준 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 특허법인이상 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 포항공과대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1065696-78 |
2 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.01.09 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0022800-01 |
3 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.02.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0183122-39 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5024386-11 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.01.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0006173-87 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.03.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0217463-69 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.03.05 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0217465-50 |
8 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0293563-33 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5243581-27 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5245997-53 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5247115-68 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 금속 전구체 및 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용제에 혼합하여 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계;기판으로부터 수직으로 상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 적하하여 상기 기판 상에 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계; 및상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계는, 금속 전구체와 유기 고분자를 10:90 내지 97:3의 중량비로, 증류수 또는 유기 용매에 1 중량% 내지 50 중량%의 농도가 되도록 용해하는 것을 특징으로 하고,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 적하하는 단계는, 기판으로부터 수직으로 10 ㎛ 내지 20 ㎜ 떨어진 지점으로부터 상기 용액을 적하하는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조 방법 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계는 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터에 의하여 실시되며, 상기 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터는, i) 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 수용하는 용액 저장 장치;ii) 상기 용액 저장 장치로부터 공급받은 용액을 토출하는 노즐 장치;iii) 상기 노즐에 고전압을 인가하는 전압 인가 장치;iv) 상기 기판을 고정하는 콜렉터;v) 상기 콜렉터를 수평 방향으로 이동시키는 로봇 스테이지;vi) 상기 콜렉터를 수직방향으로 이동시키는 마이크로 거리 조절기; 및vii) 상기 콜렉터를 지지(support)하는 석정반을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
5 |
5 제4항에 있어서,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계는,i) 상기 용액 저장 장치에 상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 공급하는 단계; ii) 상기 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터의 상기 전압 인가 장치를 통하여 상기 노즐에 고전압을 인가하면서 상기 노즐로부터 상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 토출시키는 단계를 포함하며, 상기 노즐로부터 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액이 토출될 때, 기판이 놓여진 콜렉터를 수평방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
6 |
6 제5항 에 있어서,상기 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터에 인가하는 전압은 0 |
7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 기판은 절연 재료, 금속 재료, 탄소 재료, 및 전도체와 절연막의 복합 재료로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
8 |
8 제1항에 있어서,상기 금속 전구체는 타이타늄 전구체, 알루미늄 전구체, 은 전구체, 백금 전구체, 니켈 전구체, 및 금 전구체로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
9 |
9 제8항에 있어서,상기 타이타늄 전구체는 타이타늄카바이드 (Titanium carbide), 염화타이타늄 (Titanium chloride), 타이타늄에톡사이드 (Titanium ethoxide), 타이타늄플로라이드 (Titanium fluoride), 타이타늄소수화합물 (Titanium hydride), 질화타이타늄 (Titanium nitride), 염화타이타늄 (Titanium chloride), 타이타늄아이소프로폭사이드 (Titanium isopropoxide), 타이타늄프로폭사이드 (Titanium propoxide), 불화타이타늄 (Titanium fluoride), 타이타늄메톡사이드 (Titanium methoxide), 타이타늄옥시아세틸아세토네이트(Titanium oxyacetylacetonate), 타이타늄2-에틸헥실옥사이드 (Titanium 2-ethylhexyloxide), 및 타이타늄부톡사이드 (Titanium butoxide)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
10 |
10 제8항에 있어서,상기 알루미늄 전구체는 염화알루미늄 (Aluminum chloride), 불화알루미늄 (Aluminum fluoride), 알루미늄헥사플로로아세틸아세토네이트 (Aluminum hexafluoroacetylacetonate), 염화알루미늄수화물 (Aluminum chloride hydrate), 질화알루미늄 (Aluminum nitride), 알루미늄트리플로로메탄설포네이트 (Aluminum trifluoromethanesulfonate), 트리에틸알루미늄 (Triethylaluminum), 알루미늄아세틸아세토네이트 (Aluminum acetylacetonate), 수산화알루미늄 (Aluminum hydroxide), 젖산알루미늄 (Aluminum lactate), 질화알루미늄수화물 (Aluminum nitrate hydrate), 알루미늄2-에틸헥사노에이트 (Aluminum 2-ethylhexanoate), 과염소산알루미늄수화물 (Aluminum perchlorate hydrate), 황산알루미늄수화물 (Aluminum sulfate hydrate), 알루미늄에톡사이드 (Aluminum ethoxide), 알루미늄카바이드 (Aluminum carbide), 황산알루미늄 (Aluminum sulfate), 아세트산알루미늄 (Aluminum acetate), 아세트산알루미늄수화물 (Aluminum acetate hydrate), 황화알루미늄 (Aluminum sulfide), 수산화알루미늄수화물 (Aluminum hydroxide hydrate), 알루미늄펜옥사이드 (Aluminum phenoxide), 불화알루미늄수화물 (Aluminum fluoride hydrate), 알루미늄트리부톡사이드 (Aluminum tributoxide), 알루미늄다이아세테이트 (Aluminum diacetate), 수산화알루미늄다이아세테이트 (Aluminum diacetate hydroxide), 알루미늄 2, 및 4-펜타네디오네이트(Aluminum 2,4-pentanedionate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
11 |
11 제8항에 있어서,상기 은 전구체는 은헥사플로로포스페이트 (Silver hexafluorophosphate), 은네오데카노에이트 (Silver neodecanoate), 질산은화합물 (Silver nitrate), 은트리플로로메탄설포네이트 (Silver trifluoromethanesulfonate), 아세트산은 (Silver acetate), 탄산은 (Silver carbonate), 염화은 (Silver chloride), 과염소산은 (Silver perchlorate), 은테트라플로로보라이트 (Silver tetrafluoroborate), 은트리플로로아세테이트 (Silver trifluoroacetate), 은2-에틸헥사노에이트 (Silver 2-ethylhexanoate), 불화은 (Silver fluoride), 과염소산은수화물 (Silver perchlorate hydrate), 젖산은화합물 (Silver lactate), 은아세틸아세토네이트 (Silver acetylacetonate), 은메탄설포네이트 (Silver methanesulfonate), 은헵타플로로부티레이트 (Silver heptafluorobutyrate), 염소산은 (Silver chlorate), 은펩타플로로프로피오네이트 (Silver pentafluoropropionate), 및 불화수소은화합물 (Silver hydrogenfluoride)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
12 |
12 제8항에 있어서,상기 백금 전구체는 염화백금산수화물 (Chloroplatinic acid hexahydrate), 이수소헥사하이드록시플래티네이트 (Dihydrogen hexahydroxyplatinate), 백금아세틸아세토네이트 (Platinum acetylacetonate), 염화백금 (Platinum chloride), 염화백금수화물 (Platinum chloride hydrate), 백금헥사플로로아세틸아세토네이트 (Platinum hexafluoroacetylacetonate), 염화테트라아민플래티늄수화물 (Tetraammineplatinum chloride hydrate), 수산화테트라아민플레티늄수화물 (Tetraammineplatinum hydroxide hydrate), 테트라이만플레티늄질화물 (Tetraammineplatinum nitrate), 테트라아민플레티늄테트라클로로플래티네이트 (Tetraammineplatinum tetrachloroplatinate), 테트라클로로디아민플래티늄 (Tetrachlorodiammine platinum), 다이클로로디아민플래티늄 (Dichlorodiammine platinum), 다이아민플래티늄다이클로라이드 (Diammineplatinum dichloride)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
13 |
13 제8항에 있어서,상기 니켈 전구체는 염화헥사아민니켈 (Hexaamminenickel chloride), 아세트산니켈 (Nickel acetate) 아세트산니켈수화물 (Nickel acetate hydrate), 니켈아세틸아세토네이트 (Nickel acetylacetonate), 니켈아세틸아세토네이트수화물 (Nickel acetylacetonate hydrate), 니켈카보닐 (Nickel carbonyl), 염화니켈 (Nickel chloride), 염화니켈수화물 (Nickel chloride hydrate), 불화니켈 (Nickel fluoride), 불화니켈수화물 (Nickel fluoride hydrate), 니켈헥사플로로아세틸아세토네이트수화물 (Nickel hexafluoroacetylacetonate hydrate), 니켈헥사플로로아세틸아세토네이트 (Nickel hexafluoroacetylacetonate), 니켈수산화물 (Nickel hydroxide), 니켈하이드록시아세테이트 (Nickel hydroxyacetate), 질화니켈수화물 (Nickel nitrate hydrate), 과염화니켈수화물 (Nickel perchlorate hydrate), 과염화니켈 (Nickel perchlorate), 황산화니켈수화물 (Nickel sulfate hydrate), 황산화니켈 (Nickel sulfate), 니켈트리플로로보레이트수화물 (Nickel tetrafluoroborate hydrate), 니켈트리플로로보레이트 (Nickel tetrafluoroborate), 니켈트리플로로아세틸아세토네이트수화물 (Nickel trifluoroacetylacetonate hydrate), 니켈트리플로로아세틸아세토네이트 (Nickel trifluoroacetylacetonate), 니켈트리플로로메탄설포네이트 (Nickel trifluoromethanesulfonate), 니켈과산화수화물 (Nickel peroxide hydrate), 니켈과산화물 (Nickel peroxide), 황산화니켈 (Nickel sulfate), 니켈옥타노에이트수화물 (Nickel octanoate hydrate), 탄산니켈 (Nickel carbonate), 술파민산니켈수화물 (Nickel sulfamate hydrate), 술파민산니켈 (Nickel sulfamate), 및 수산화탄산니켈수화물 (Nickel carbonate hydroxide hydrate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
14 |
14 제8항에 있어서,상기 금 전구체는 클로로카보닐금 (Chlorocarbonylgold), 테트라클로로금산수소 (Hydrogen tetrachloroaurate) 테트라클로로금산수소수화물 (Hydrogen tetrachloroaurate hydrate), 클로로트리에틸포스핀금화합물 (Chlorotriethylphosphinegold), 클로로트리메틸포스핀금화합물 (Chlorotrimethylphosphinegold), 다이메틸(아세틸아세토네이트)금화합물 (Dimethyl(acetylacetonate)gold), 염화금 (Gold(I) chloride), 시안화 금 (Gold cyanide), 황화금(Gold sulfide), 및 염화금수화물 (Gold chloride hydrate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
15 |
15 제1항에 있어서,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계에서 상기 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액은 보조 금속 전구체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
16 |
16 제15항에 있어서,상기 보조 금속 전구체는 구리 전구체, 타이타늄 전구체, 알루미늄 전구체, 은 전구체, 백금 전구체, 니켈 전구체, 및 금 전구체로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
17 |
17 제16항에 있어서,상기 구리 전구체는 아세트산구리(Copper acetate), 아세트산구리수화물 (Copper acetate hydrate), 구리아세틸아세토네이트 (Copper acetylacetonate), 구리아이소부티레이트 (Copper i-butyrate), 탄산구리 (Copper carbonate), 염화구리 (Copper chloride), 염화구리수화물 (Copper chloride hydrate), 구리에틸아세토아세테이트 (Copper ethylacetoacetate), 구리2-에틸헥사노에이트 (Copper 2-ethylhexanoate), 불화구리 (Copper fluoride), 포름산구리수화물 (Copper formate hydrate), 구리글루코네이트 (Copper gluconate), 구리헥사플로로아세틸아세토네이트 (Copper hexafluoroacetylacetonate), 구리헥사플로로아세틸아세토네이트수화물 (Copper hexafluoroacetylacetonate hydrate), 구리메톡사이드 (Copper methoxide), 구리네오데카노에이트 (Copper neodecanoate), 질산구리수화물 (Copper nitrate hydrate), 질산구리 (Copper nitrate), 과염소산구리수화물 (Copper perchlorate hydrate), 황산구리 (Copper sulfate), 황산구리수화물 (Copper sulfate hydrate), 주석산구리수화물 (Copper tartrate hydrate), 구리트리플로로아세틸아세토네이트 (Copper trifluoroacetylacetonate), 구리트리플로로메탄설포네이트 (Copper trifluoromethanesulfonate), 및 테트라아민구리황산염수화물 (Tetraamminecopper sulfate hydrate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
18 |
18 제16항에 있어서,상기 타이타늄 전구체는 타이타늄카바이드 (Titanium carbide), 염화타이타늄 (Titanium chloride), 타이타늄에톡사이드 (Titanium ethoxide), 타이타늄플로라이드 (Titanium fluoride), 타이타늄소수화합물 (Titanium hydride), 질화타이타늄 (Titanium nitride), 염화타이타늄 (Titanium chloride), 타이타늄아이소프로폭사이드 (Titanium isopropoxide), 타이타늄프로폭사이드 (Titanium propoxide), 불화타이타늄 (Titanium fluoride), 타이타늄메톡사이드 (Titanium methoxide), 타이타늄옥시아세틸아세토네이트(Titanium oxyacetylacetonate), 타이타늄2-에틸헥실옥사이드 (Titanium 2-ethylhexyloxide), 및 타이타늄부톡사이드 (Titanium butoxide)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
19 |
19 제16항에 있어서,상기 알루미늄 전구체는 염화알루미늄 (Aluminum chloride), 불화알루미늄 (Aluminum fluoride), 알루미늄헥사플로로아세틸아세토네이트 (Aluminum hexafluoroacetylacetonate), 염화알루미늄수화물 (Aluminum chloride hydrate), 질화알루미늄 (Aluminum nitride), 알루미늄트리플로로메탄설포네이트 (Aluminum trifluoromethanesulfonate), 트리에틸알루미늄 (Triethylaluminum), 알루미늄아세틸아세토네이트 (Aluminum acetylacetonate), 수산화알루미늄 (Aluminum hydroxide), 젖산알루미늄 (Aluminum lactate), 질화알루미늄수화물 (Aluminum nitrate hydrate), 알루미늄2-에틸헥사노에이트 (Aluminum 2-ethylhexanoate), 과염소산알루미늄수화물 (Aluminum perchlorate hydrate), 황산알루미늄수화물 (Aluminum sulfate hydrate), 알루미늄에톡사이드 (Aluminum ethoxide), 알루미늄카바이드 (Aluminum carbide), 황산알루미늄 (Aluminum sulfate), 아세트산알루미늄 (Aluminum acetate), 아세트산알루미늄수화물 (Aluminum acetate hydrate), 황화알루미늄 (Aluminum sulfide), 수산화알루미늄수화물 (Aluminum hydroxide hydrate), 알루미늄펜옥사이드 (Aluminum phenoxide), 불화알루미늄수화물 (Aluminum fluoride hydrate), 알루미늄트리부톡사이드 (Aluminum tributoxide), 알루미늄다이아세테이트 (Aluminum diacetate), 수산화알루미늄다이아세테이트 (Aluminum diacetate hydroxide), 알루미늄 2, 및 4-펜타네디오네이트(Aluminum 2,4-pentanedionate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
20 |
20 제16항에 있어서,상기 은 전구체는 은헥사플로로포스페이트 (Silver hexafluorophosphate), 은네오데카노에이트 (Silver neodecanoate), 질산은화합물 (Silver nitrate), 은트리플로로메탄설포네이트 (Silver trifluoromethanesulfonate), 아세트산은 (Silver acetate), 탄산은 (Silver carbonate), 염화은 (Silver chloride), 과염소산은 (Silver perchlorate), 은테트라플로로보라이트 (Silver tetrafluoroborate), 은트리플로로아세테이트 (Silver trifluoroacetate), 은2-에틸헥사노에이트 (Silver 2-ethylhexanoate), 불화은 (Silver fluoride), 과염소산은수화물 (Silver perchlorate hydrate), 젖산은화합물 (Silver lactate), 은아세틸아세토네이트 (Silver acetylacetonate), 은메탄설포네이트 (Silver methanesulfonate), 은헵타플로로부티레이트 (Silver heptafluorobutyrate), 염소산은 (Silver chlorate), 은펩타플로로프로피오네이트 (Silver pentafluoropropionate), 및 불화수소은화합물 (Silver hydrogenfluoride)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
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21 제16항에 있어서,상기 백금 전구체는 염화백금산수화물 (Chloroplatinic acid hexahydrate), 이수소헥사하이드록시플래티네이트 (Dihydrogen hexahydroxyplatinate), 백금아세틸아세토네이트 (Platinum acetylacetonate), 염화백금 (Platinum chloride), 염화백금수화물 (Platinum chloride hydrate), 백금헥사플로로아세틸아세토네이트 (Platinum hexafluoroacetylacetonate), 염화테트라아민플래티늄수화물 (Tetraammineplatinum chloride hydrate), 수산화테트라아민플레티늄수화물 (Tetraammineplatinum hydroxide hydrate), 테트라이만플레티늄질화물 (Tetraammineplatinum nitrate), 테트라아민플레티늄테트라클로로플래티네이트 (Tetraammineplatinum tetrachloroplatinate), 테트라클로로디아민플래티늄 (Tetrachlorodiammine platinum), 다이클로로디아민플래티늄 (Dichlorodiammine platinum), 및 다이아민플래티늄다이클로라이드 (Diammineplatinum dichloride)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
22 |
22 제16항에 있어서,상기 니켈 전구체는 염화헥사아민니켈 (Hexaamminenickel chloride), 아세트산니켈 (Nickel acetate) 아세트산니켈수화물 (Nickel acetate hydrate), 니켈아세틸아세토네이트 (Nickel acetylacetonate), 니켈아세틸아세토네이트수화물 (Nickel acetylacetonate hydrate), 니켈카보닐 (Nickel carbonyl), 염화니켈 (Nickel chloride), 염화니켈수화물 (Nickel chloride hydrate), 불화니켈 (Nickel fluoride), 불화니켈수화물 (Nickel fluoride hydrate), 니켈헥사플로로아세틸아세토네이트수화물 (Nickel hexafluoroacetylacetonate hydrate), 니켈헥사플로로아세틸아세토네이트 (Nickel hexafluoroacetylacetonate), 니켈수산화물 (Nickel hydroxide), 니켈하이드록시아세테이트 (Nickel hydroxyacetate), 질화니켈수화물 (Nickel nitrate hydrate), 과염화니켈수화물 (Nickel perchlorate hydrate), 과염화니켈 (Nickel perchlorate), 황산화니켈수화물 (Nickel sulfate hydrate), 황산화니켈 (Nickel sulfate), 니켈트리플로로보레이트수화물 (Nickel tetrafluoroborate hydrate), 니켈트리플로로보레이트 (Nickel tetrafluoroborate), 니켈트리플로로아세틸아세토네이트수화물 (Nickel trifluoroacetylacetonate hydrate), 니켈트리플로로아세틸아세토네이트 (Nickel trifluoroacetylacetonate), 니켈트리플로로메탄설포네이트 (Nickel trifluoromethanesulfonate), 니켈과산화수화물 (Nickel peroxide hydrate), 니켈과산화물 (Nickel peroxide), 황산화니켈 (Nickel sulfate), 니켈옥타노에이트수화물 (Nickel octanoate hydrate), 탄산니켈 (Nickel carbonate), 술파민산니켈수화물 (Nickel sulfamate hydrate), 술파민산니켈 (Nickel sulfamate), 및 수산화탄산니켈수화물 (Nickel carbonate hydroxide hydrate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
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23 제16항에 있어서,상기 금 전구체는 클로로카보닐금 (Chlorocarbonylgold), 테트라클로로금산수소 (Hydrogen tetrachloroaurate) 테트라클로로금산수소수화물 (Hydrogen tetrachloroaurate hydrate), 클로로트리에틸포스핀금화합물 (Chlorotriethylphosphinegold), 클로로트리메틸포스핀금화합물 (Chlorotrimethylphosphinegold), 다이메틸(아세틸아세토네이트)금화합물 (Dimethyl(acetylacetonate)gold), 염화금 (Gold(I) chloride), 시안화 금 (Gold cyanide), 황화금(Gold sulfide), 및 염화금수화물 (Gold chloride hydrate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
24 |
24 제1항에 있어서,상기 유기 고분자는 폴리비닐알코올(PVA), 폴리비닐아세테이트(PVAc), PPV(Poly(p-phenylene vinylene)), 폴리하이드록시에틸메타클릴레이트(pHEMA), 폴리에틸렌 옥사이드(PEO), 폴리스티렌(PS), 폴리카프로락톤(PCL), 폴리아크릴로니트릴(PAN), 폴리(메틸 메타크릴레이트)(PMMA), 폴리이미드, 폴리(비닐리덴 플루오라이드)(PVDF), 폴리아닐린(PANI), 폴리비닐클로라이드(PVC), 나일론, 폴리아크릴산, 폴리클로로스티렌, 폴리디메틸실록산, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리알킬아크릴레이트, 폴리에틸아크릴레이트, 폴리에틸비닐아세테이트, 폴리에틸-co-비닐아세테이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리락트산-co-글리콜산, 폴리메타크릴산염, 폴리메틸스티렌, 폴리스티렌술폰산염, 폴리스티렌술포닐플루오라이드, 폴리스티렌-co-아크릴로니트릴, 폴리스티렌-co-부타디엔, 폴리스티렌-co-디비닐벤젠, 폴리락타이드, 폴리아크릴아미드, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보네이트, 폴리디메틸실록산-co-폴리에틸렌옥사이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌이민, 폴리이소프렌, 폴리락타이드, 폴리프로필렌, 폴리술폰, 폴리우레탄, 폴리비닐피롤리돈(PVP), 폴리페닐렌비닐렌(PPV), 및 폴리비닐카바졸(PVK)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
25 |
25 제1항에 있어서,상기 유기 용제는 다이클로로에틸렌, 트라이클로로에틸렌, 클로로포름, 클로로벤젠, 다이클로로벤젠, 스타이렌, 다이메틸포름아마이드, 다이메틸설폭사이드, 자일렌, 톨루엔, 사이클로헥센, 이소프로필알콜, 에탄올, 메탄올, 테트라하이드로퓨란, 이소프로필알코올, 테르피네올, 에틸렌글리콜, 다이에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 아세토나이트릴, 및 아세톤으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
26 |
26 제1항에 있어서,상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계는 50℃ 내지 900℃의 온도 범위에서 5분 내지 8시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
27 |
27 제1항에 있어서,상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계는 1회 내지 5회 가열하는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
28 |
28 제1항에 있어서,상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계는 공기 또는 산소, 질소, 수소, 및 아르곤으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 가스분위기에서 가열되는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
29 |
29 제1항에 있어서,상기 금속 나노선은 10nm 내지 3000nm의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 금속 나노선 어레이의 제조방법 |
30 |
30 제1항에 있어서,상기 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴은 수평 정렬된 것을 특징으로 하는 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
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1 | KR101535725 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | KR101580383 | KR | 대한민국 | FAMILY |
3 | US20170077403 | US | 미국 | FAMILY |
4 | WO2014119943 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
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DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
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특허 등록번호 | 10-1520190-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20131122 출원 번호 : 1020130142939 공고 연월일 : 20150513 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150501 청구범위의 항수 : 28 유별 : H01L 21/28 발명의 명칭 : 정렬된 금속 나노선을 이용한 대면적의 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20190508 |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 568,500 원 | 2015년 05월 07일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 328,000 원 | 2018년 04월 06일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1065696-78 |
2 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.01.09 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0022800-01 |
3 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.02.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0183122-39 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5024386-11 |
5 | 의견제출통지서 | 2015.01.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0006173-87 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.03.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0217463-69 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.03.05 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0217465-50 |
8 | 등록결정서 | 2015.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0293563-33 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5243581-27 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5245997-53 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5247115-68 |
기술번호 | KST2014058811 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술명 | 정렬된 금속 나노선을 이용한 대면적의 금속 나노선 전극 어레이의 제조방법 |
기술개요 |
본 발명은 금속 나노선 패턴을 포함하는 나노선 전극 어레이의 제조방법에 관한 것으로, 금속 전구체 및 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용제에 혼합하여 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계, 기판으로부터 수직으로 금속 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 적하하여, 상기 기판 상에 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 정렬된 금속 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 금속 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함함에 따라, 금속 나노선 패턴의 위치와 방향을 정확히 조절할 수 있고, 금속 나노선 패턴을 원하는 방향에 정렬시킬 수 있다. 따라서, 나노선 패턴의 해상도가 향상된 나노선 전극 어레이를 제공할 수 있다. 또한, 제조공정이 빠르고 간소화된 나노선 전극 어레이의 제조방법을 제공할 수 있다. |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | ㅡ |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 라이센스 |
사업화적용실적 | ㅡ |
도입시고려사항 | ㅡ |
과제정보가 없습니다 |
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