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서로 다른 파장의 광원을 순차적으로 발생시키는 광원부;상기 광원을 사용하여 대상물체에 대한 홀로그램을 상기 파장 별로 촬영하는 촬영부; 및상기 파장 별로 촬영된 홀로그램을 이용하여 상기 대상물체의 3차원 어레이를 형성한 후 상기 대상물체의 3차원 단면영상을 복원하는 복원부를 포함하며,상기 복원부는,상기 3차원 어레이를 아래의 수학식으로 형성하는 홀로그램 촬영 장치:여기서, h(x,y;k)는 x,y,k 축에 따른 상기 3차원 어레이, R0(x,y;z)는 x,y,z 축에 따른 대상물체의 단면영상, 는 콘볼루션 연산자, k(=2π/λ)는 파동수(save numver), λ는 파장이다
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청구항 1에 있어서, 상기 복원부는,상기 3차원 어레이를 1차원 퓨리에 변환한 결과를 이용하여 상기 단면영상을 복원한 다음, 상기 복원된 단면영상을 2차원 퓨리에 변환하여 상기 단면영상을 판독하며,상기 복원된 단면영상, 그리고 상기 판독된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:여기서, 상기 복원된 단면영상인 RRe(x,y;z) 식에서, H(x,y;z)는 상기 h(x,y;k)를 K 축에 대하여 1차원 푸리에 변환한 결과, F(x,y;z)는 멱(冪) 프린지 적응 필터(power fringe adjusted filter)를 구성하는 필드함수이고, 상기 판독된 단면영상인 식에서, , ,는 각각 RRe(x,y;z), H(x,y;z), F(x,y;z)의 2차원 푸리에 변환 결과이고, (p,q)는 공간 주파수이다
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청구항 3에 있어서,상기 2차원 푸리에 변환된 필드함수는,아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:여기서, 는 S(x,y;z)를 2차원 퓨리에 변환한 결과로서 주파수 영역의 프레넬 존 패턴이고, 상기 S(x,y;z)는 상기 파장이 중첩된 프레넬 존 패턴이고, *는 켤레 복소수 연산자이고, σ는 임의의 양의 실수이다
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청구항 4에 있어서,상기 S(x,y;z)는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:
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청구항 4에 있어서,상기 는 미리 저장된 점 반사체에 대한 홀로그램 레코딩 결과로부터 결정되는 플라즈마 촬영 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 복원부는,상기 3차원 어레이를 1차원 퓨리에 변환한 결과를 이용하여 상기 단면영상을 복원한 다음, 상기 복원된 단면영상을 2차원 퓨리에 변환하여 상기 단면영상을 판독하며,상기 복원된 단면영상, 그리고 상기 판독된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:,여기서, 상기 복원된 단면영상인 RRe(x,y;z) 식에서, H(x,y;z)는 상기 h(x,y;k)를 K 축에 대하여 1차원 푸리에 변환한 결과, S(x,y;z)는 프레넬 존 패턴으로 구성된 필드함수이고, 상기 판독된 단면영상인 식에서, , ,는 각각 RRe(x,y;z), H(x,y;z), S(x,y;z)의 2차원 푸리에 변환 결과, *는 결레 복소수 연산이다
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청구항 7에 있어서,상기 복원부는,고주파 성분을 증가시키는 필터를 사용하여 상기 판독된 단면영상을 필터링하며, 상기 필터링된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:여기서, λ0는 상기 광원이 제공하는 파장 범위의 중심 파장, Δλ는 파장의 스웹(swept) 폭이고, 는 상기 필터이다
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청구항 8에 있어서,상기 복원부는,상기 필터링된 단면영상을 아래의 수학식으로 재복원하는 플라즈마 촬영 장치:
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청구항 9에 있어서,상기 복원부는,상기 재복원된 단면영상을 역 필터로 필터링하여 상기 대상물체의 단면영상만을 추출하여 복원하고, 상기 역 필터는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 장치:여기서, σ는 임의의 양의 실수이다
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플라즈마 촬영 장치를 이용한 플라즈마 촬영 방법에 있어서,서로 다른 파장의 광원을 순차적으로 발생시키는 단계;상기 광원을 사용하여 대상물체에 대한 홀로그램을 상기 파장 별로 촬영하는 단계; 및상기 파장 별로 촬영된 홀로그램을 이용하여 상기 대상물체의 3차원 어레이를 형성한 후 상기 대상물체의 3차원 단면영상을 복원하는 단계를 포함하며,상기 3차원 단면영상을 복원하는 단계는,상기 3차원 어레이를 아래의 수학식으로 형성하는 홀로그램 촬영 방법:여기서, h(x,y;k)는 x,y,k 축에 따른 상기 3차원 어레이, R0(x,y;z)는 x,y,z 축에 따른 대상물체의 단면영상, 는 콘볼루션 연산자, k(=2π/λ)는 파동수(save numver), λ는 파장이다
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삭제
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청구항 11에 있어서, 상기 3차원 단면영상을 복원하는 단계는,상기 3차원 어레이를 1차원 퓨리에 변환한 결과를 이용하여 상기 단면영상을 복원한 다음, 상기 복원된 단면영상을 2차원 퓨리에 변환하여 상기 단면영상을 판독하며,상기 복원된 단면영상, 그리고 상기 판독된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 방법:여기서, 상기 복원된 단면영상인 RRe(x,y;z) 식에서, H(x,y;z)는 상기 h(x,y;k)를 K 축에 대하여 1차원 푸리에 변환한 결과, F(x,y;z)는 멱(冪) 프린지 적응 필터(power fringe adjusted filter)를 구성하는 필드함수이고, 상기 판독된 단면영상인 식에서, , ,는 각각 RRe(x,y;z), H(x,y;z), F(x,y;z)의 2차원 푸리에 변환 결과, (p,q)는 공간 주파수이며,상기 2차원 푸리에 변환된 필드함수인 이며,여기서, 는 S(x,y;z)를 2차원 퓨리에 변환한 결과로서 주파수 영역의 프레넬 존 패턴이고, 상기 S(x,y;z)는 상기 파장이 중첩된 프레넬 존 패턴으로서 이고, *는 켤레 복소수 연산자이고, σ는 임의의 양의 실수이다
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청구항 13에 있어서,상기 는 미리 저장된 점 반사체에 대한 홀로그램 레코딩 결과로부터 결정되는 플라즈마 촬영 방법
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청구항 11에 있어서, 상기 3차원 단면영상을 복원하는 단계는,상기 3차원 어레이를 1차원 퓨리에 변환한 결과를 이용하여 상기 단면영상을 복원한 다음, 상기 복원된 단면영상을 2차원 퓨리에 변환하여 상기 단면영상을 판독하며,상기 복원된 단면영상, 그리고 상기 판독된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 방법:,여기서, 상기 복원된 단면영상인 RRe(x,y;z) 식에서, H(x,y;z)는 상기 h(x,y;k)를 K 축에 대하여 1차원 푸리에 변환한 결과, S(x,y;z)는 프레넬 존 패턴으로 구성된 필드함수이고, 상기 판독된 단면영상인 식에서, , ,는 각각 RRe(x,y;z), H(x,y;z), S(x,y;z)의 2차원 푸리에 변환 결과, *는 결레 복소수 연산이다
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청구항 15에 있어서,상기 3차원 단면영상을 복원하는 단계는,고주파 성분을 증가시키는 필터를 사용하여 상기 판독된 단면영상을 필터링하며, 상기 필터링된 단면영상은 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 방법:여기서, λ0는 상기 광원이 제공하는 파장 범위의 중심 파장, Δλ는 파장의 스웹(swept) 폭이고, 는 상기 필터이다
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청구항 16에 있어서,상기 3차원 단면영상을 복원하는 단계는,상기 필터링된 단면영상을 아래의 수학식으로 재복원하고, ,상기 재복원된 단면영상을 역 필터로 필터링하여 상기 대상물체의 단면영상만을 추출하여 복원하고, 상기 역 필터는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 촬영 방법:여기서, σ는 임의의 양의 실수이다
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