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플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법에 있어서, 웨이퍼 상단의 박막이 식각되고 있는 플라즈마 챔버 내의 입자들에 대한 촬상 영상을 시간 흐름 별로 입력받는 단계;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들의 개수를 연산하는 단계;상기 픽셀들의 개수에 대한 현재 시점까지의 누적 평균 값을 각 시점 별로 연산하는 단계; 및상기 각 시점 별로 연산된 누적 평균 값을 이용하여 상기 식각의 완료 시점인 식각 종말점을 탐지하는 단계를 포함하는 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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청구항 1에 있어서,m번째 시점에서의 누적 평균 값은 아래의 수학식으로 연산되는 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법:여기서, Ni는 m번째 시점의 영상에서 연산된 상기 픽셀들의 개수, m은 2 이상의 정수이다
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청구항 2에 있어서,상기 식각 종말점을 탐지하는 단계는,상기 누적 평균 값이 최저 값이 되는 시점을 상기 식각 종말점으로 판단하는 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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청구항 2에 있어서,상기 식각 종말점을 탐지하는 단계는,상기 m 번째 시점의 누적 평균 값과 m-1 번째 시점의 누적 평균 값 사이의 차이 값을 연산하는 단계;상기 차이 값에 대한 누적 평균 값인 에러 누적 평균 값을 각 시점 별로 연산하는 단계; 및상기 에러 누적 평균 값이 기준 범위를 벗어나는 시점을 상기 식각 종말점으로 판단하는 단계를 포함하는 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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청구항 1에 있어서,상기 촬상 영상은 상기 플라즈마 챔버 내의 임의 공간에서 복원된 영상인 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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청구항 1에 있어서,상기 촬상 영상은 플라즈마 쉬스(Plasma sheath)에 대응되는 공간에서 복원된 영상인 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 입자 촬상 장치는,레이저 빔을 발생시키는 레이저부;상기 발생된 레이저 빔을 상기 플라즈마 챔버를 향하는 수평 방향과 상부를 향하는 수직 방향의 빔으로 분할하는 빔 분할기;상기 수평 방향의 빔을 상기 플라즈마 챔버 내의 웨이퍼가 놓여진 척 상단부를 향해 확장시키는 빔 확장기; 및상기 척 상단부를 통과한 후 상기 플라즈마 챔버의 내벽으로부터 반사되는 빔을 상기 빔 분할기를 통해 입력받아 상기 촬상 영상을 획득하는 CCD 센서를 더 포함하는 플라즈마 입자 촬상 장치를 이용한 식각 종말점 탐지 방법
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웨이퍼 상단의 박막이 식각되고 있는 플라즈마 챔버 내의 입자들에 대한 촬상 영상을 시간 흐름 별로 입력받는 영상 입력부;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들의 개수를 연산하는 제1 연산부;상기 픽셀들의 개수에 대한 현재 시점까지의 누적 평균 값을 각 시점 별로 연산하는 제2 연산부; 및상기 각 시점 별로 연산된 누적 평균 값을 이용하여 상기 식각의 완료 시점인 식각 종말점을 탐지하는 종말점 탐지부를 포함하는 플라즈마 입자 촬상 장치
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청구항 8에 있어서,m번째 시점에서의 누적 평균 값은 아래의 수학식으로 연산되는 플라즈마 입자 촬상 장치:여기서, Ni는 m번째 시점의 영상에서 연산된 상기 픽셀들의 개수, m은 2 이상의 정수이다
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청구항 9에 있어서,상기 종말점 탐지부는,상기 누적 평균 값이 최저 값이 되는 시점을 상기 식각 종말점으로 판단하는 플라즈마 입자 촬상 장치
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청구항 9에 있어서,상기 종말점 탐지부는,상기 m 번째 시점의 누적 평균 값과 m-1 번째 시점의 누적 평균 값 사이의 차이 값을 연산하고,상기 차이 값에 대한 누적 평균 값인 에러 누적 평균 값을 각 시점 별로 연산한 다음,상기 에러 누적 평균 값이 기준 범위를 벗어나는 시점을 상기 식각 종말점으로 판단하는 플라즈마 입자 촬상 장치
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청구항 8에 있어서,상기 촬상 영상은 상기 플라즈마 챔버 내의 임의 공간에서 복원된 영상 플라즈마 입자 촬상 장치
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청구항 8에 있어서,상기 촬상 영상은 플라즈마 쉬스(Plasma sheath)에 대응되는 공간에서 복원된 영상인 플라즈마 입자 촬상 장치
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청구항 8에 있어서,레이저 빔을 발생시키는 레이저부;상기 발생된 레이저 빔을 상기 플라즈마 챔버를 향하는 수평 방향과 상부를 향하는 수직 방향의 빔으로 분할하는 빔 분할기;상기 수평 방향의 빔을 상기 플라즈마 챔버 내의 웨이퍼가 놓여진 척 상단부를 향해 확장시키는 빔 확장기; 및상기 척 상단부를 통과한 후 상기 플라즈마 챔버의 내벽으로부터 반사되는 빔을 상기 빔 분할기를 통해 입력받아 상기 촬상 영상을 획득하는 CCD 센서를 더 포함하는 플라즈마 입자 촬상 장치
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