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증착 박막의 물리적 특성 측정장치를 이용한 증착 박막의 물리적 특성 측정방법에 있어서,광학 현미경을 이용하여 촬상된 상기 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받는 단계;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들을 이용하여 상기 임의의 그레이 스케일 범위에 포함된 전자수를 연산하는 단계; 및상기 연산된 전자수를 이용하여 상기 증착 박막의 증착률을 연산하는 단계를 포함하는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법
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청구항 1에 있어서,상기 임의의 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법:Gmin 003c# 임의의 그레이 스케일 범위 003c# Gmax-T여기서, Gmin 및 Gmax는 상기 촬상 영상에 대한 최소 및 최대 그레이 스케일 값, T는 상기 최대 그레이 스케일 값의 10~15%에 해당되는 값이다
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청구항 1에 있어서,상기 증착 박막의 증착률을 연산하는 단계는,상기 전자수에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 증착률을 연산하되, 상기 스케일 인자는,상기 광학 현미경에 적용된 소스 파워의 크기에 따라 결정되는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 전자수는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법:전자수 = Σ(Ni×(GMAX-Gi)×n)여기서, Ni는 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들 중 상기 임의의 그레이 스케일 범위 내의 i번째 그레이 스케일 값에 해당되는 픽셀들의 개수, Gi는 상기 i번째 그레이 스케일 값, GMAX는 상기 촬상 영상에서 표현 가능한 최대 그레이 스케일 값, n은 상기 픽셀에 대한 비트열의 LSB당 발생하는 전자수, 상기 LSB(Least significant bit)는 2진수로 표현된 비트열 중에서 최하위의 비트 또는 상기 비트열의 최하위 비트를 의미한다
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증착 박막의 물리적 특성 측정장치를 이용한 증착 박막의 물리적 특성 측정방법에 있어서,광학 현미경을 이용하여 촬상된 상기 증착 박막의 내표면에 대한 깊이별 촬상 영상을 각각 입력받는 단계;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들을 이용하여 상기 임의의 그레이 스케일 범위에 포함된 전자수를 상기 깊이별 촬상 영상마다 연산하는 단계;상기 깊이별로 연산된 상기 전자수를 이용하여 상기 전자수의 변화량이 기준값보다 큰 변곡 지점의 깊이를 획득하는 단계; 및상기 변곡 지점의 깊이를 이용하여 상기 증착 박막의 굴절률을 연산하는 단계를 포함하는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법
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청구항 5에 있어서,상기 증착 박막의 굴절률을 연산하는 단계는,상기 변곡 지점의 깊이에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 굴절률을 연산하되, 상기 스케일 인자는,상기 광학 현미경에 적용된 소스 파워의 크기에 따라 결정되는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법
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청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,상기 전자수는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정방법:전자수 = Σ(Ni×(GMAX-Gi)×n)여기서, Ni는 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들 중 상기 임의의 그레이 스케일 범위 내의 i번째 그레이 스케일 값에 해당되는 픽셀들의 개수, Gi는 상기 i번째 그레이 스케일 값, GMAX는 상기 촬상 영상에서 표현 가능한 최대 그레이 스케일 값, n은 상기 픽셀에 대한 비트열의 LSB당 발생하는 전자수, 상기 LSB(Least significant bit)는 2진수로 표현된 비트열 중에서 최하위의 비트 또는 상기 비트열의 최하위 비트를 의미한다
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광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받는 영상 입력부;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들을 이용하여 상기 임의의 그레이 스케일 범위에 포함된 전자수를 연산하는 전자수 연산부; 및상기 연산된 전자수를 이용하여 상기 증착 박막의 증착률을 연산하는 증착률 연산부를 포함하는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치
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9
청구항 8에 있어서,상기 임의의 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치:Gmin 003c# 임의의 그레이 스케일 범위 003c# Gmax-T여기서, Gmin 및 Gmax는 상기 촬상 영상에 대한 최소 및 최대 그레이 스케일 값, T는 상기 최대 그레이 스케일 값의 10~15%에 해당되는 값이다
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10
청구항 8에 있어서,상기 증착률 연산부는,상기 전자수에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 증착률을 연산하되, 상기 스케일 인자는,상기 광학 현미경에 적용된 소스 파워의 크기에 따라 결정되는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치
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11
청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 전자수는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치:전자수 = Σ(Ni×(GMAX-Gi)×n)여기서, Ni는 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들 중 상기 임의의 그레이 스케일 범위 내의 i번째 그레이 스케일 값에 해당되는 픽셀들의 개수, Gi는 상기 i번째 그레이 스케일 값, GMAX는 상기 촬상 영상에서 표현 가능한 최대 그레이 스케일 값, n은 상기 픽셀에 대한 비트열의 LSB당 발생하는 전자수, 상기 LSB(Least significant bit)는 2진수로 표현된 비트열 중에서 최하위의 비트 또는 상기 비트열의 최하위 비트를 의미한다
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12
광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 내표면에 대한 깊이별 촬상 영상을 각각 입력받는 영상 입력부;상기 촬상 영상 내에서 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들을 이용하여 상기 임의의 그레이 스케일 범위에 포함된 전자수를 상기 깊이별 촬상 영상마다 연산하는 전자수 연산부;상기 깊이별로 연산된 상기 전자수를 이용하여 상기 전자수의 변화량이 기준값보다 큰 변곡 지점의 깊이를 획득하는 깊이 탐색부; 및상기 변곡 지점의 깊이를 이용하여 상기 증착 박막의 굴절률을 연산하는 굴절률 연산부를 포함하는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치
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청구항 12에 있어서,상기 굴절률 연산부는,상기 변곡 지점의 깊이에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 굴절률을 연산하되, 상기 스케일 인자는,상기 광학 현미경에 적용된 소스 파워의 크기에 따라 결정되는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치
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청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,상기 전자수는 아래의 수학식으로 정의되는 증착 박막의 물리적 특성 측정장치:전자수 = Σ(Ni×(GMAX-Gi)×n)여기서, Ni는 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들 중 상기 임의의 그레이 스케일 범위 내의 i번째 그레이 스케일 값에 해당되는 픽셀들의 개수, Gi는 상기 i번째 그레이 스케일 값, GMAX는 상기 촬상 영상에서 표현 가능한 최대 그레이 스케일 값, n은 상기 픽셀에 대한 비트열의 LSB당 발생하는 전자수, 상기 LSB(Least significant bit)는 2진수로 표현된 비트열 중에서 최하위의 비트 또는 상기 비트열의 최하위 비트를 의미한다
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