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포토마스크용 기판을 전기수력학적현상을 이용한 프린팅 장치의 노즐의 하측에 위치시키는 단계;상기 노즐에 공압 부재를 이용하여 공기압을 제공하는 단계;상기 노즐에 전기수력학적현상이 발생되도록, 전원으로부터 전압을 상기 노즐에 인가하는 단계; 및 상기 노즐로부터 전기수력학적현상을 이용하여 패턴용 잉크를 토출시켜 상기 포토마스크용 기판 상에 패턴을 프린팅하는 단계;를 포함하는 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 프린팅된 패턴으로부터 용제를 제거하고 잉크 입자를 소결하도록 상기 포토마스크용 기판을 열처리하는 단계;를 더 포함하는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 패턴용 잉크는 금, 은, 백금, 크롬 또는 이들의 합금, 또는 이들의 산화물을 포함하는 잉크 입자와 상기 잉크 입자가 분산된 용제를 포함하는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전원으로부터 전압을 상기 노즐에 인가하는 단계는,직류 전원으로부터 직류 전압을 상기 노즐에 인가하여 수행되거나, 또는교류 전원으로부터 교류 전압을 상기 노즐에 인가하여 수행되는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 교류 전원은, 사인파형(sine-type) 교류 전압 또는 펄스형(pulse-type) 교류 전압을 상기 노즐에 인가하는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전원은, 100 V 내지 400 V 범위의 전압을 상기 노즐에 인가하는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전원은, 100 Hz 내지 300 Hz 범위의 주파수를 가지는 교류 전원인, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 노즐은 0
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제 1 항에 있어서,상기 노즐과 상기 포토마스크용 기판의 이격 간격은 5 ㎛ 내지 50 ㎛ 범위인, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전원으로부터 전압을 상기 노즐에 인가하는 단계와 상기 노즐에 공압 부재를 이용하여 공기압을 제공하는 단계는 동시에 수행되는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전원으로부터 전압을 상기 노즐에 인가하는 단계가 수행된 후에, 상기 노즐에 공압 부재를 이용하여 공기압을 제공하는 단계가 수행되거나, 또는 이와 반대 순서로 수행되는, 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법
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12
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리 기판 또는 PET 기판이고,상기 노즐은 0
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제 1 항 내지 제 12 항 중의 어느 한 항의 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법을 이용하여 형성한 포토마스크
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