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이온원 장치 및 그 운전방법

  • 기술번호 : KST2014059007
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하나의 전극 홀을 가진 인출 전극을 이용하여 타겟 시료상의 이온빔의 조사 면적을 대폭 늘릴 수 있는 이온원 장치 및 그 운전방법이다.본 발명에 따른 이온원 장치는 양극과 중간 전극이 구비된 방전공간을 가지며 하단에 플라즈마 전극이 있는 플라즈마 발생부; 및 상기 플라즈마 발생부의 플라즈마 전극에 대향하여 위치한 인출 전극을 포함하되, 상기 플라즈마 전극은 복수의 전극 홀을 가지며, 상기 인출 전극은 단일 전극 홀을 가진 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/08 (2006.01)
CPC H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01)
출원번호/일자 1020100138426 (2010.12.30)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1153391-0000 (2012.05.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용섭 대한민국 대전광역시 서구
2 장지호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0874417-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0094600-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0027550-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0198155-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0198161-81
7 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0293344-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
양극과 중간 전극이 구비된 방전공간을 가지며 하단에 플라즈마 전극이 있는 플라즈마 발생부; 및상기 플라즈마 발생부의 플라즈마 전극에 대향하여 위치한 인출 전극을 포함하며,상기 플라즈마 전극은 복수개의 전극 홀을 가지며, 상기 인출 전극은 단일 전극 홀을 가지되, 상기 인출 전극의 단일 전극 홀 외경은 상기 플라즈마 전극의 복수개의 전극 홀의 외접원 직경보다 큰 이온원 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 인출 전극은 동으로 제작된 것을 특징으로 하는 이온원 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 플라즈마 전극의 복수의 전극 홀은 하나의 가상원에 배치되며 그 중심과 인출 전극의 단일 전극 홀의 중심이 일직선으로 정열된 것을 특징으로 하는 이온원 장치
4 4
삭제
5 5
플라즈마 발생부의 가스주입구를 통하여 가스를 주입하는 단계;필라멘트에서 방출된 열전자가 상기의 가스와 충돌하여 플라즈마 발생부 내부에 플라즈마를 형성하는 단계;상기 플라즈마가 복수개의 전극 홀을 가진 플라즈마 전극을 통과하는 단계; 및상기 복수개의 전극 홀의 외접원 직경보다 큰 외경의 단일 전극 홀을 가진 인출 전극을 통하여 이온빔으로 인출되는 단계를 포함하는 이온원 장치 운전방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력연구원,양성자기반공학기술개발사업단 양성자기반공학기술개발사업 가속장치개발