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장치본체;상기 장치본체 내에 장착되어 이온 빔(ion beam)이 유입되며, 유입된 상기 이온 빔이 내부 공간에 잔류하는 잔류 기체와 충돌함으로써 발생하는 이온 또는 전자를 집속하는 집속부; 상기 장치본체 내에서 상기 집속부에 연결되며, 상기 집속부에서 집속된 상기 이온 또는 전자의 전하량 또는 분포를 증폭하여 측정하는 전하량/분포 측정부;상기 장치본체 내에 장착되며, 상기 이온 빔의 비행시간을 측정함으로써 상기 이온 빔의 운동에너지를 측정하는 에너지 측정부; 및상기 장치본체 내에 결합되며, 상기 이온 빔의 전기적 편향도를 측정함으로써 상기 이온 빔의 전하량 대 질량 비율을 측정하는 전하량/질량비 측정부;를 포함하는 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 전하량/분포 측정부는, 상기 집속부에 방사선을 제공함으로써 상기 이온 또는 전자의 전하량 또는 분포를 측정하는 방사선 영상 센서인 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제2항에 있어서,상기 집속부는, 양극 및 음극이 인가되는 한 쌍의 인가 플레이트와, 상기 한 쌍의 인가 플레이트에 양극 및 음극이 인가되는 경우 발생되는 상기 이온 또는 전자가 표시되는 픽셀을 구비하며,상기 방사선 영상 센서는 상기 이온 또는 전자가 상기 픽셀에 표시되는 위치에 따라 상기 이온 또는 전자의 전하량 또는 분포를 증폭하여 측정하는 이온 빔 집단적 특성 분성 장치
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제1항에 있어서,상기 에너지 측정부는,상기 이온 빔의 이동 방향으로 배치되는 한 쌍의 갭 플레이트를 구비하며,상기 운동에너지는 상기 한 쌍의 갭 플레이트 사이에서 상기 이온 빔에서 유도되는 전기장을 측정하여 구한 상기 비행시간을 적용하여 구하는 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제5항에 있어서,상기 운동에너지(E)는, 의 식에 의해 환산되며, 여기서, m은 이온의 질량, ΔL은 상기 한 쌍의 갭 플레이트 사이의 거리인 비행거리, Δt는 비행시간인 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제5항에 있어서,상기 한 쌍의 갭 플레이트 각각은 전류 인가 시 상기 이온 빔을 전기 유도하는 픽업 코일(pickup coil)인 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 전하량/질량비 측정부는, 양극 및 음극이 인가되는 한 쌍의 인가 플레이트와, 상기 한 쌍의 인가 플레이트에 양극 및 음극이 인가되는 경우 편향되는 상기 이온 빔의 위치가 표시되는 스캔부재를 구비하며,상기 스캔부재에 표시되는 상기 이온 빔의 편향도를 측정하여 상기 이온 빔의 전하량 대 질량 비율을 측정하는 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 이온 빔은 주석(Sn) 이온 빔이며, 상기 잔류 기체는 질소 가스인 이온 빔 집단적 특성 분석 장치
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