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이온원 장치 및 그 이온원의 운전방법

  • 기술번호 : KST2014059031
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 필라멘트를 아크방전함부의 외부에 배치하고, 열전자를 배출하는 텅스텐 블록을 아크방전함부의 내부에 두는 필라멘트 간접 가열방식을 통하여 이온빔을 인출함으로써 필라멘트의 수명을 대폭 연장할 수 있고, 증기도입관에 진공 게이트 밸브를 추가하여 크루시블 교체시에 아크방전함부의 진공상태를 파기하지 않음으로써 진공상태를 다시 배기해야 하는 시간을 없애고, 진공상태 배기로 인한 기계적 오차를 없애 일정한 이온빔 인출량을 유지하는 이온원 장치 및 운전방법이다.본 발명에 따른 이온원 장치는 내부 수용공간을 가지며 히터가 구비된 크루시블; 상기 크루시블에 증기도입관을 통하여 연결되고 내부공간을 가지며 일측벽에 텅스텐블록, 반대측벽에는 반사전극이 배치되고 전방에 이온빔 인출구를 갖는 아크방전함부; 상기 아크방전함부의 외부에 상기 텅스텐 블록과 인접하여 배치되며 전원선이 연결된 필라멘트; 상기 아크방전함부의 이온빔 인출구 전방에 배치되는 인출전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/08 (2006.01) H01J 27/08 (2006.01)
CPC H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01) H01J 37/08(2013.01)
출원번호/일자 1020100132571 (2010.12.22)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1144222-0000 (2012.05.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재상 대한민국 경상북도 경주시
2 이찬영 대한민국 경상북도 경주시 석장*길 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0849011-64
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0862432-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0091720-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0767626-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0156924-37
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0156923-92
8 등록결정서
Decision to grant
2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0249928-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부 수용공간을 가지며 가열용 히터가 구비된 복수개의 크루시블;상기 복수개의 크루시블 중 어느 하나의 크루시블과 증기도입관을 통하여 연결되고 내부공간을 가지며 일측벽에 텅스텐블록, 반대측벽에는 반사전극이 배치되고 전방에 이온빔 인출구를 갖는 아크방전함부;상기 아크방전함부의 외부에 상기 텅스텐 블록과 인접하여 배치되며 전원선이 연결된 필라멘트;상기 아크방전함부의 이온빔 인출구 전방에 배치되는 인출전극부;상기 복수개의 크루시블을 탑재하며 상기 증기도입관에 연결되는 크루시블의 교체가 가능하도록 이송레일에서 이동가능한 이송장치; 및외단부에 도킹부가 형성되어 있으며, 상기 증기도입관에 설치되어 상기 크루시블의 교체시 상기 아크방전함부의 진공상태를 유지하기 위한 진공 게이트 벨브를 포함하는 이온원장치
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삭제
3 3
삭제
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크루시블에서 금속원료를 가열하여 증기로 만드는 단계;상기 증기가 증기도입관을 통하여 아크방전함부로 인입되는 단계;상기 아크방전함부의 외부에 위치한 필라멘트의 전원에 의해 가열된 필라멘트에서 열전자가 방출되는 단계;상기 필라멘트에서 발생한 열전자와 충돌한 텅스텐 블록에서 열전자가 방출되는 단계;상기 열전자가 상기 증기와 충돌하여 플라즈마를 생성하는 단계;상기 플라즈마에 인출전압을 가하여 이온빔을 인출하는 단계;상기 증기도입관의 진공 게이트 밸브를 잠가서 상기 아크방전함부의 진공상태를 유지하는 단계;이송장치가 이송레일에서 이동함에 따라 상기 이송장치에 탑재된 복수개의 크루시블 중 어느 하나가 상기 증기도입관에 연결되는 단계를 포함하는 이온원 운전 방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력연구원,양성자기반공학기술개발사업단 양성자기반공학기술개발사업 빔라인 개발