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레이저의 타겟이 되는 표적부재를 제공하는 제공유닛;상기 제공유닛으로부터 제공된 표적부재를 지지하면서 일정 형태로의 공급을 가이드하는 가이드유닛;상기 표적부재 또는 제공유닛에 힘을 전달하여, 상기 표적부재의 이송을 유도하는 이송유닛; 및상기 이송유닛에 동력을 제공하는 구동유닛;을 포함하고, 상기 표적부재의 일단이 조사되는 레이저의 초점상에 위치하도록 상기 표적부재를 일정하게 공급하고,상기 표적부재를 마이크로 와이어를 포함하고,상기 마이크로 와이어는 원주형으로 구성되고 금속재료로 제조되는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제1항에 있어서,상기 마이크로 와이어의 금속재료로 구리, 티타늄, 금, 주석, 규소, 철, 코발트, 니켈, 우라늄, 또는 지르코늄 중 적어도 하나를 포함하는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제1항에 있어서,상기 제공유닛은 상기 표적부재가 권취된 상태에서 회전축의 회전에 의해 상기 표적부재를 제공하고, 상기 회전축은 상기 표적부재의 장력을 유지할 수 있도록 스프링을 더 포함하는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제3항에 있어서,상기 제공유닛의 테두리에는 상기 표적부재가 권취될 수 있는 권취홈이 형성된 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제1항에 있어서,상기 가이드유닛은 상기 표적부재가 관통되는 관통홀이 형성된 두 개의 모세관을 포함하는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제5항에 있어서,상기 모세관은 상기 표적부재가 인입되는 입구 부분의 내경이 상기 표적부재의 지름보다 크고, 상기 표적부재가 사출되는 출구 부분으로 갈수록 상기 내경이 점점 줄어드는 형상인 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제5항에 있어서,상기 두 개의 모세관은 상기 각각의 관통홀이 일직선상에 오도록 배치되는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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8
제1항에 있어서,상기 이송유닛은 상기 표적부재를 사이에 두고 서로 대향되게 구비된 두 개의 풀리를 포함하고, 상기 풀리의 회전을 통해 상기 표적부재에 마찰력을 전달하는 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제8항에 있어서,상기 두 개의 풀리중 적어도 하나는 상기 표적부재에 전달되는 마찰력의 조절이 가능하도록 상기 풀리간의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절 유닛을 더 포함한 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제8항에 있어서,상기 풀리의 외면은 실리콘고무 재질로 형성된 외피가 구비된 마이크로 와이어 금속표적전송기구
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제1항 내지 제10항 중 어느 하나의 마이크로 와이어 금속표적전송기구를 포함하고, 상기 표적부재의 일단에 초점이 형성되도록 집속된 레이저광을 공급하는 레이저 공급유닛을 포함하는 엑스선 발생 장치
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제11항에 있어서,상기 레이저광은 초극단 레이저인 엑스선 발생 장치
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제11항에 있어서,상기 표적부재가 상기 레이저광에 의해 플라즈마로 변환되면, 상기 변환된 길이만큼 상기 표적부재가 상기 초점으로 연속적으로 공급되는 엑스선 발생 장치
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제11항에 있어서,상기 표적부재가 상기 레이저광에 의해 플라즈마로 변환되어 360도 방사상으로 엑스선을 발생시키는 엑스선 발생 장치
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