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지면에 고정 설치되어 진동을 흡수하기 위한 광학정반과,상기 광학정반 상에 설치되어 내측으로 투입되는 타겟(Target)을 공중에 부양시킬 수 있도록 하는 챔버와,상기 챔버의 내측으로 공기를 투입하는 기체발생기와,상기 광학정반 상에 설치되어 챔버의 내측에서 공중에 부양된 상태의 타겟을 가열하기 위한 CO2 레이저를 포함하여 구성되는 공기력을 이용한 공중부양장치에 있어서,상기 챔버는 내측에 타겟이 안치되는 노즐이 설치되고, 하단 중심부에는 가공된 시편이 배출되는 배출공이 형성되는 본체부와, 상기 본체부의 상부에 결합되어 챔버를 밀폐시킬 수 있도록 하는 덮개부를 포함하여 구성되고,상기 본체부의 하부에는 배출공을 통해 배출된 시편을 회수할 수 있도록 하는 시편회수장치가 구비되되,상기 시편회수장치는 본체부의 하부에 슬라이드 가능하도록 끼움 결합되는 시편회수구와, 상기 시편회수구 상에 구비되어 배출공을 통해 배출되는 시편을 수용하는 도가니를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부의 상부에는 타겟을 챔버의 내측으로 투입시킬 수 있도록 하는 타겟투입부가 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 3항에 있어서,상기 타겟투입부는 덮개부에 고정 설치되는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 상부에 결합되는 적재 디스크와, 상기 고정 플레이트의 하부와 노즐 사이에 연결 설치되는 슬라이더와, 상기 적재 디스크에 연결 설치되어 적재 디스크를 회전시키는 모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부에는 다수의 결합부가 관통 형성되고, 상기 결합부에는 CO2 레이저에 의해 발생되는 레이저가 챔버의 내측에 설치된 타겟을 가열할 수 있도록 레이저를 투과 및 반사시키는 광학부가 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 7항에 있어서,상기 광학부는 덮개부의 가운데 부분에 형성되는 결합부에 체결되는 ZnSe 렌즈와, 상기 ZnSe 렌즈를 기준으로 하여 방사상으로 설치되는 다수의 평면 거울 및 상기 ZnSe 렌즈와 평면 거울을 고정시키기 위한 홀더를 포함하여 구성되고, 상기 평면 거울은 ZnSe 렌즈를 중심으로 대칭되도록 하여 타겟을 향해 경사지도록 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 노즐은 그 내측면이 원추형으로 형성되고, 노즐의 중심부에는 공기투입공이 형성되며, 상기 공기투입공과 기체발생기의 사이에는 공기투입로가 구비된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 기체발생기와 챔버의 사이에는 MFC(Mass Flow Controller)가 설치되고, 상기 MFC에는 기체발생기에서 발생되는 공기의 유량을 정밀하게 제어할 수 있도록 하는 MFC 컨트롤러가 연결 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 광학정반에는 타겟으로부터 방출되는 적외선을 통해 간접적으로 온도를 측정할 수 있도록 하는 방사온도계가 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 11항에 있어서,상기 방사온도계에는 레이저 투광기가 삽입 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 11항에 있어서,상기 방사온도계에는 측정된 온도를 실시간으로 표시할 수 있도록 하는 온도표시기와, 상기 온도표시기로부터 아날로그 전류신호의 형태로 전송되는 온도 데이터를 샘플링하여 저장하는 데이터 수집 모듈이 연결 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 1항에 있어서,상기 광학정반에는 챔버 내부의 타겟 부양 및 용융 과정을 촬영하기 위한 CCD 카메라가 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중부양장치
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제 14항에 있어서,상기 광학정반의 상부 및 광학정반의 외부에는 상기 CCD 카메라에 의해 촬영된 영상을 모니터링 할 수 있도록 하는 제1 및 제2모니터가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중 부양장치
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제 1항에 있어서,상기 CO2 레이저에는 레이저의 출력을 조절할 수 있도록 하는 레이저 컨트롤러가 연결 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중 부양장치
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제 1항에 있어서,상기 광학정반의 상부에는 CO2 레이저에 의해 발생되는 고출력 레이저의 방출을 방지하기 위한 레이저 차폐용 안전장치가 설치된 것을 특징으로 하는 공기력을 이용한 공중 부양장치
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