1 |
1
복수의 재료 시편이 병렬로 배열되어 개별적으로 장착되는 복수의 석영 튜브가 설치된 시편 장착부를 포함하여 재료 시편의 온도와 하중을 조절하는 반응로; 상기 반응로 내부로 공급되는 복수의 가스 농도를 조절하여 상기 재료 시편의 대기 환경 내의 가스 불순물 농도를 조절하는 가스 조절부; 상기 재료 시편과 대기환경과의 반응에 따른 가스 조성의 변화를 지속적으로 측정하는 가스 조성 분석부; 및 상기 반응로와 가스 조절부 및 가스 농도 분석부를 전기적 또는 기계적으로 제어하는 제어부를 포함하여 구성되고, 상기 시편 장착부는, 병렬로 배열된 각각의 재료 시편에 상기 석영 튜브를 통해 독립적으로 가스가 공급되어 각 재료 시편마다 개별적으로 대기 환경이 조성되는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
삭제
|
5 |
5
제 1항에 있어서,상기 반응로는 상기 재료 시편의 온도를 조절할 수 있도록 수직으로 설치된 전기로로 이루어지되, 하중을 변화시킬 수 있도록 상기 재료 시편의 하단에 무게추가 연결되는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
6 |
6
제 1항에 있어서,상기 가스 조절부는 개별적으로 공급되는 가스의 유량을 제어하여 상기 반응로 내부로 공급되는 가스 불순물 농도를 조절하는 복수의 MFC(Mass Flow Meter)를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
7 |
7
제 6항에 있어서,상기 제어부는 상기 MFC(Mass Flow Meter)로 공급되는 가스의 개별적인 공급 유량을 제어하여 상기 가스를 일정 시간에 일정 농도로 상기 반응로 내부로 공급하는 가스 제어 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
8 |
8
제 1항에 있어서,상기 가스 조성 분석부는 상기 반응로로 공급되는 가스의 조성 및 상기 재료 시편과 열역학 반응 후 유출되는 가스의 조성을 측정하여, 반응 전후의 가스 농도 변화를 연속적으로 측정하는 가스 크로마토그래피(Gas Chromatography,GC)인 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
9 |
9
제 1항에 있어서,상기 가스 조절부에 연결되어 상기 반응로 내부로 공급되는 복수의 가스에 포함된 수분(H2O)을 검출하는 수분측정기(Moisture Analyzer)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
10 |
10
제 1항에 있어서,상기 반응로에 연결되어 상기 반응로로부터 유출되는 가스를 냉각시키는 냉각부를 더 포함하되,상기 냉각부는 상기 반응로로부터 유출된 가스가 이동되는 롤 형상의 냉각 튜브; 및상기 냉각 튜브 하부에 위치되어 상기 냉각 튜브 내의 가스를 냉각시키는 냉각팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|
11 |
11
제 1항에 있어서,상기 제어부에 연결되어 데이터를 수집하고 사용자에게 입출력 인터페이스를 제공하는 사용자 단말기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 환경에서의 재료 기상 반응 분석 장치
|