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CNT(carbon nano tube) 재질로 형성된 캐소드;상기 캐소드를 수용하고 반원통형 형상을 갖는 그리드 서포트부; 및상기 그리드 서포트부 둘레를 따라 다수회 권선된 와이어 그리드;를 포함하고,상기 그리드 서포트부 외주면에는 상기 와이어 그리드가 권선되도록 표면에서 요입된 가이드 홈이 형성된 CNT 캐소드 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 그리드 서포트부의 개구된 면에 권선된 상기 와이어 그리드는 상기 그리드 서포트부에 평행한 평면을 형성하는 CNT 캐소드 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 가이드홈은 상기 와이어 그리드가 일정 간격으로 권선될 수 있도록 일정 간격으로 형성된 CNT 캐소드 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 와이어 그리드는 텅스텐을 포함하는 금속 재질의 와이어로 형성된 CNT 캐소드 어셈블리
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내부에 진공이 형성된 챔버;상기 챔버 상면 및 하면에 각각 구비되는 전극부;상기 챔버 내부에 구비된 캐소드 어셈블리; 및상기 챔버 상면에 구비된 전극부에 구비되며, 상기 캐소드 어셈블리에서 방출되는 전자를 검출하는 스크린;을 포함하고,상기 캐소드 어셈블리는,CNT 재질로 형성된 캐소드;상기 캐소드를 수용하고 반원통형 형상을 갖는 그리드 서포트부; 및상기 그리드 서포트부 둘레를 따라 다수회 권선된 와이어 그리드;를 포함하는 전자 빔 조사 장치
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제5항에 있어서,상기 스크린은 상기 캐소드 어셈블리에서 방출된 전자를 검출하기 위한 형광체 층이 형성된 전자 빔 조사 장치
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제5항에 있어서,상기 그리드 서포트부 외주면에는 상기 와이어 그리드가 권선되도록 표면에서 요입된 가이드 홈이 형성되고,상기 가이드홈은 상기 와이어 그리드가 일정 간격으로 권선될 수 있도록 일정 간격으로 형성된 전자 빔 조사 장치
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제5항에 있어서,상기 와이어 그리드는 텅스텐을 포함하는 금속 재질의 와이어로 형성된 전자 빔 조사 장치
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