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레이저 광을 공급하는 레이저 광원;상기 레이저 광을 전달받되, 그 하부가 소정의 용융염에 잠기는 레이저광 전달관;상기 레이저광 전달관의 하부에 위치하며, 상기 레이저 광의 입사각도를 조절하여 반사증폭부에 전달하는 입사거울부;상기 용융염에 잠기고, 상기 입사거울부로부터 전달되는 레이저 광을 그 내부에서 반사하여 상기 용융염이 포함하는 원소로부터 여기되는 형광 신호를 증폭하는 반사증폭부;상기 반사증폭부의 상부에 형성되되, 상기 형광신호를 수용하는 셀(Cell);상기 셀의 내부에 형성되되, 상기 형광 신호를 포커싱(Focusing)하는 초점렌즈부; 및상기 초점렌즈부를 통해 포커싱된 형광신호를 분석하여 상기 용융염이 포함하는 원소 및 그 농도를 측정·분석하는 검출기;를 포함하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 용융염은,란탄족 원소 또는 악틴족 원소 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 셀과 상기 검출기는 광케이블로 연결되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 입사거울부는, 수평면을 기준으로 45°로 기울어져 설치되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 입사거울부의 레이저광 입사각도를 조절할 수 있도록 상기 레이저광 전달관을 회전시키는 회전구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 반사증폭부는,그 양측에 미러(Mirror)를 구비하여 상기 입사거울부로부터 전달되는 레이저광을 적어도 한 번 이상 반사시키는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 반사증폭부는, 그 하부의 소정영역에 공동(空洞)이 형성되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 초점렌즈부는, 상기 셀의 내부에서 수직으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 고온 용융염내공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 초점렌즈부는, 다이크오익 렌즈(Dichoic Lens)로 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 셀은, 탄소, 금속, 세라믹, 석영, 유리 또는 사파이어 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 레이저광 전달관 또는 상기 반사증폭부는, 석영, 유리 또는 사파이어 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 입사거울부는 상기 레이저광 전달관의 하부에 탈부착이 가능하고,상기 반사증폭부는, 상기 셀의 하부에 탈부착이 가능한 것을 특징으로 하는 고온 용융염내공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항에 있어서, 상기 레이저는,기체 레이저, 고체상태 (solid state) 레이저, 액체 레이저 또는 레이저 파장을 바꿀 수 있는 가변 레이저 중에서 선택되는 어느 하나의 레이저인 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항의 레이저 반사증폭 형광 측정셀은, 파이로 공정장치의 포트를 통하여 상기 파이로 공정장치 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 고온 용융염내 공정시료 모니터링을 위한 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀
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레이저 광원에서 레이저광 전달관으로 레이저 광을 공급하는 단계;상기 레이저광이 입사거울부에서 레이저 광의 입사각도가 조절되어 반사되는 단계;상기 입사거울부에서 반사된 레이저광이 반사증폭부 양단의 미러에 의해 반사되어 용융염의 형광신호가 증폭되는 단계;상기 형광신호가 셀 내부의 초점렌즈부를 통해 포커싱되는 단계;상기 초점렌즈부를 통해 포커싱된 형광신호가 광케이블을 통해 검출기에 입력되는 단계; 및상기 검출기에서 용융염 내부의 원소 및 그 농도를 분석하는 단계;를 포함하는 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀을 이용한 공정시료 모니터링 방법
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제 15항에 있어서, 상기 레이저 광 방사단계 전에,회전구동부를 구동하여 상기 레이저광 전달관을 회전시켜 상기 입사거울부의 레이저 광 입사각도를 조절하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀을 이용한 공정시료 모니터링 방법
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제 15항에 있어서, 상기 초점렌즈부의 포커싱단계는, 상기 초점렌즈부를 상기 셀의 내부에서 수직으로 이동하여 상기 형광신호를 포커싱하는 것을 특징으로 하는 레이저 형광 측정용 레이저 반사증폭 형광 측정셀을 이용한 공정시료 모니터링 방법
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