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광원;시료를 통과시킬 수 있는 유체 채널이 형성된 시료 투입 장치;상기 시료 투입 장치의 배면에 설치되어, 상기 시료 투입 장치로부터 입사되는 빛살을 되반사시키는 제1 반사부;입사되는 빛살을 되반사시키는 제2 반사부; 상기 광원에서 발생된 광을 서로 평행한 제1 빔 및 제2 빔으로 분할하여 제공하는 이중빔 발생기;상기 이중빔 발생기로부터 제공된 제1 빔과 제2 빔을 서로 다른 제1 및 제2 주파수를 가지며 편광 방향이 서로 수직한 2개의 빛살들로 분리하여 제공하는 제1 편광빛살가르개(PBS);상기 제1 PBS로부터 제1 빔과 제2 빔의 제1 주파수의 빛살들이 입사되고, 상기 입사된 빛살들을 편광 방향이 서로 수직한 2개의 빛살들로 분리하여 각각 시료투입 장치 및 제2 반사부로 주사하고, 상기 제1 반사부 및 제2 반사부로부터 반사되는 빛살들을 합성한 신호빛들을 출력하는 제1 광경로부;상기 제1 PBS로부터 제1 빔과 제2 빔의 제2 주파수의 빛살들이 기준빛으로서 입사되고, 상기 제1 광경로부로부터 신호빛들이 입사되고, 상기 입사된 신호빛들과 기준빛들을 분리 및 합성하여 출력하는 제2 광경로부;상기 제2 광경로부로부터 제공되는 합성신호들로부터 제1 간섭계의 제1, 제2 간섭신호와 제2 간섭계의 제1, 제2 간섭신호들을 각각 검출하여 제공하는 광검출부; 및상기 광검출부로부터 제공되는 제1 간섭계의 제1, 제2 간섭신호와 제2 간섭계의 제1, 제2 간섭신호들을 이용하여 제1 및 제2 복조신호를 생성하여 제공하는 복조기;를 구비하여, 상기 제1빔을 이용하여 제1 간섭계를 형성하고 제2빔을 이용하여 제2 간섭계를 형성하며, 상기 제1 간섭계와 제2 간섭계는 제1 빔과 제2 빔의 이격거리만큼 이격된 상태에서 동일한 광 경로로 구성되고,상기 시료 투입 장치의 유체 채널은 제1 간섭계의 빔의 진행 경로에 배치되는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제1항에 있어서, 상기 시료 투입 장치는 사전 설정된 기준용 물질이 유입될 수 있는 기준 채널을 구비하며, 상기 기준 채널은 제2 간섭계의 빔의 진행 경로에 배치하는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서는상기 복조기로부터 제공되는 제2 복조신호를 이용하여 되먹임 조절신호를 제공하는 되먹임 조절장치; 및상기 되먹임 조절장치로부터 제공된 되먹임 조절신호에 따라 상기 제2 반사부를 이동시켜, 상기 제2 반사부와 제1 광경로부 사이의 거리를 조절하는 액츄에이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 3항에 있어서, 상기 액츄에이터는 인가된 전압에 따라 상기 제2 반사부의 변위를 조절하는 압전 소자인 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 제1 광경로부는입력된 빛살의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제1 편광회전부; 상기 제1 편광회전부로부터 제공된 빛살을 편광 방향이 서로 수직한 2개의 빛살로 분리하여 제공하는 제2 편광빛살가르개(PBS); 상기 제2 PBS와 제1 반사부의 사이에 배치되는 제1 사분파장 위상지연판(QWP); 및 상기 제2 PBS와 제2 반사부의 사이에 배치되는 제2 사분파장 위상지연판(QWP);을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 제2 광경로부는입력된 빛살의 진행 경로를 변경하는 광경로변경수단; 상기 광경로 변경수단으로부터 제공된 빛살의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제2 편광회전부; 상기 제2 편광회전부로부터 제공된 빛살을 편광 방향이 서로 수직한 2개의 빛살로 분리하고, 상기 제1 광경로부로부터 제공된 빛살을 편광 방향이 서로 수직한 2개의 빛살로 분리하고, 분리된 빛살들 중 동일한 경로로 진행하는 빛살들이 합성된 제1, 제2, 제3 및 제4 합성 신호를 제공하는 제3 편광빛살가르개(PBS);를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 6항에 있어서, 상기 광경로변경수단은 펜타고널 프리즘(pentagonal prism), 반사경(mirror) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 이중빔 발생기는 빛살가르개(BS)로 이루어지며,상기 빛살가르개는 빛살 분할면이 입사되는 광과 수평하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 이중빔 발생기는 빔 디스플레이서(beam displacer)로 이루어지며, 상기 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서는 상기 이중빔 발생기와 제1 편광빛살가르개 사이에 반파장 위상지연판(HWP)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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제 1항에 있어서, 상기 광원은서로 수직으로 편광되고, 각 편광 성분이 서로 다른 주파수를 갖는 이중 편광 및 이중 주파수를 갖는 광을 출력하는 헤테로다인 광원인 것을 특징으로 하는 이중 헤테로다인 간섭계를 이용한 바이오화학 유체채널 리드아웃 센서
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