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투명전도막 태양전지용 유리 기판 제조에 대한 방법

  • 기술번호 : KST2014059550
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 태양전지용 유리 기판의 제조 방법에 있어서, 챔버 내에 위치한 타겟 지지부 상에 산화 금속물을 타겟으로 장착하고, 상기 챔버 내에 위한 서셉터 상에 기판을 장착한다. 상기 기판 및 상기 타겟 간의 타겟 각도를 조절한 후, 상기 기판 상에 상기 타겟 물질을 증착시켜 텍스쳐가 형성된 산화 금속막을 형성한다. 여기서, 상기 타겟 각도는 상기 타겟 표면의 법선과 상기 기판간에 이루는 각으로 정의된다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020110113873 (2011.11.03)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1346524-0000 (2013.12.23)
공개번호/일자 10-2013-0048938 (2013.05.13) 문서열기
공고번호/일자 (20131231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이준신 대한민국 서울특별시 서초구
2 박형식 대한민국 경기도 부천시 소사구
3 신종훈 대한민국 경기도 김포시 유현로 **, 현대
4 박진주 대한민국 서울특별시 동대문구
5 백승신 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 장주연 대한민국 울산광역시 북구
7 정준희 대한민국 경기도 수원시 장안구
8 김민범 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
4 한상민 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**-**, A동***-***호(특허법인지원(광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0866274-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.05.02 무효 (Invalidation) 1-1-2012-0350494-02
4 보정요구서
Request for Amendment		 2012.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0053628-83
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.05.08 무효 (Invalidation) 1-1-2012-0365904-71
6 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0057003-51
7 보정요구서
Request for Amendment		 2012.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0067422-57
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0439109-58
9 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2012.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0069589-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0748219-88
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0113816-08
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0169897-20
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0169896-85
16 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2013.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0464838-81
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0790654-43
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0790656-34
19 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0789183-15
20 등록결정서
Decision to grant		 2013.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0885370-23
21 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0279855-50
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내에 위치한 타겟 지지부 상에 알루미늄산화물이 도핑된 아연산화물을 타겟으로 장착하는 단계;상기 챔버 내에 위치한 서셉터 상에 기판을 장착하는 단계;상기 기판 및 상기 타겟 간의 타겟 각도를 40° 이상 60° 이하로 조절하는 단계; 및상기 기판이 고정된 위치에서 회전하도록 상기 서셉터를 회전시키면서 상기 기판 상에 상기 타겟 물질을 증착시켜 표면에 10nm 이상 15nm 이하의 미세 돌기들을 포함하는 텍스쳐가 형성되고 일함수(work function)가 4
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판 상에 상기 타겟 물질을 증착시키는 단계는 직류 마그네트론 스퍼터링 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 유리 기판의 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 마그네트론 스퍼터링 공정은 1 내지 30 mTorr의 압력 및 100 내지 500°C 의 온도 조건 및 400 내지 600 W의 전원에서 수행되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 유리 기판의 제조 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013065938 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013065938 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 성균관대학교 산학협력단 지식경제 기술혁신사업 침엽수형 초고효율 3-D 실리콘 태양전지 핵심기술 개발