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향이 주입되는 주입구가 형성된 제1기판;상기 제1기판의 상방에 배치되고, 상기 향이 분사되는 분사구가 형성된 제2기판;상기 제1기판과 상기 제2기판 사이의 폐쇄된 공간 상에 고정되어 배치되고, 상기 주입구와 연통되는 하부 유입실, 상기 하부 유입실로 유입된 향이 통과되는 관통공이 형성된 중앙 분리막, 상기 통과된 향이 가열되는 상부 가열실, 상기 중앙 분리막과 연결되어 상기 분사구를 단속하는 단속부를 구비하며, 플렉서블한 재질로 형성된 제3기판; 및상기 제3기판의 관통공의 상부에 들뜬 상태로 배치되고, 플렉서블한 재질로 형성된 체크밸브막을 더 포함하고,상기 상부 가열실의 내부 압력 증가 시 상기 체크밸브막이 하측으로 휨 변형되어 상기 관통공을 폐쇄시킨 다음, 상기 제3기판이 하측으로 휨 변형되면서 상기 단속부가 하강되어 상기 상부 가열실과 상기 분사구 사이를 개방시키는 향 분사 장치
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향이 주입되는 주입구가 형성되고, 상면에 상기 주입구와 연통되는 홈부가 형성된 제1기판;상기 제1기판의 상면에 배치되어 상기 홈부로부터 들떠 있으며, 상기 주입된 향이 통과되는 관통홀이 상기 주입구와 어긋난 위치에 형성되고, 플렉서블한 재질로 형성된 체크밸브막;상기 체크밸브막의 상방에 배치되고, 상기 향이 분사되는 분사구가 형성되고, 저면에 밸브시트가 구비된 제2기판; 및상기 체크밸브막과 상기 제2기판 사이의 폐쇄된 공간 상에 고정되어 배치되고, 상기 주입구와 연통되는 하부 유입실, 상기 하부 유입실로 유입된 향이 통과되는 관통공이 형성된 중앙 분리막, 상기 통과된 향이 가열되는 상부 가열실, 상기 중앙 분리막과 연결되고 상기 밸브시트와 접촉되어 상기 분사구를 단속하는 단속부를 구비하며, 플렉서블한 재질로 형성된 제3기판을 포함하고,상기 상부 가열실의 내부 압력 증가 시 상기 관통공을 통해 상기 압력이 전달됨에 따라 상기 체크밸브막이 하측으로 휨 변형되면서 상기 홈부와 접촉되어 상기 주입구를 폐쇄시킨 다음, 상기 제3기판이 하측으로 휨 변형되면서 상기 단속부가 하강되어 상기 상부 가열실과 상기 분사구 사이를 개방시키는 향 분사 장치
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향이 주입되는 주입구가 형성된 제1기판;상기 제1기판의 상방에 배치되고, 상기 향이 분사되는 분사구가 형성된 제2기판; 및상기 제1기판과 상기 제2기판 사이의 폐쇄된 공간 상에 고정되어 배치되고, 상기 주입구와 연통되는 하부 유입실, 상기 하부 유입실로 유입된 향이 통과되는 관통공이 형성된 중앙 분리막, 상기 통과된 향이 가열되는 상부 가열실, 상기 중앙 분리막과 연결되어 상기 분사구를 단속하는 단속부를 구비한 제3기판을 포함하고,상기 제3기판은 플렉서블한 재질로 형성되어 상기 상부 가열실의 내부 압력이 증가하면 하측으로 휨 변형되어 상기 단속부가 하강되면서 상기 상부 가열실과 상기 분사구 사이를 개방시키는 향 분사 장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 체크밸브막은 감광성 수지 재질로 형성된 향 분사 장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,중앙 분리막은 상기 체크밸브막이 들뜬 상태로 존재하도록 상면이 오목한 곡면형으로 형성된 향 분사 장치
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2기판의 하부에는 상기 상부 가열실 내의 향을 기화시키기 위한 가열판이 배치된 향 분사 장치
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7
청구항 6에 있어서,상기 가열판은 금속 또는 반도체 재질로 형성된 향 분사 장치
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8
청구항 7에 있어서, 상기 가열판은 절연막으로 코팅된 향 분사 장치
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9
청구항 3에 있어서,상기 제3기판의 휨 변형 시, 상기 중앙 분리막의 하단부가 하강되면서 상기 주입구와 상기 하부 유입실 사이를 폐쇄시키는 향 분사 장치
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10
청구항 9에 있어서,상기 하단부는,중앙 분리막의 저면으로부터 하방으로 돌출되어 상기 주입구와 이격된 형태를 가지고, 상기 휨 변형시 상기 주입구에 삽입되어 상기 주입구와 상기 하부 유입실 사이를 폐쇄시키는 돌출부가 하부에 형성된 향 분사 장치
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11
청구항 9에 있어서,상기 제1기판의 상부에는,상기 제3기판의 휨 변형시 상기 하단부와 접촉되어 상기 주입구와 상기 하부 유입실 사이를 폐쇄시키는 돌기가 형성된 향 분사 장치
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12
청구항 1에 기재된 향 분사 장치를 위한 초소형 노즐의 제조 방법에 있어서,향이 주입되는 주입구가 형성된 제1기판을 제조하는 단계;상기 향이 분사되는 분사구가 형성된 제2기판을 제조하는 단계;상기 주입구와 연통되는 하부 유입실, 상기 하부 유입실로 유입된 향이 통과되는 관통공이 형성된 중앙 분리막, 상기 통과된 향이 가열되는 상부 가열실, 상기 중앙 분리막과 연결되어 상기 분사구를 단속하는 단속부가 구비된 제3기판을 제조하는 단계; 플렉서블한 재질로 형성된 체크밸브막을 상기 제3기판의 관통공의 상부에 들뜬 상태로 배치하는 단계; 및상기 제1기판, 상기 제3기판, 상기 제2기판을 순서대로 적층하되, 상기 제3기판이 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이의 폐쇄된 공간 상에 고정되도록 배치하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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13
청구항 3에 기재된 향 분사 장치를 위한 초소형 노즐의 제조 방법에 있어서,향이 주입되는 주입구가 형성된 제1기판을 제조하는 단계;상기 향이 분사되는 분사구가 형성된 제2기판을 제조하는 단계;상기 주입구와 연통되는 하부 유입실, 상기 하부 유입실로 유입된 향이 통과되는 관통공이 형성된 중앙 분리막, 상기 통과된 향이 가열되는 상부 가열실, 상기 중앙 분리막과 연결되어 상기 분사구를 단속하는 단속부가 구비된 제3기판을 제조하는 단계; 및상기 제1기판, 상기 제3기판, 상기 제2기판을 순서대로 적층하되, 상기 제3기판이 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이의 폐쇄된 공간 상에 고정되도록 배치하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,상기 제1기판을 제조하는 단계는,기판의 상하면에 각각 상부절연막 및 하부절연막을 형성하는 단계;상기 주입구의 위치에 대응되는 상기 하부절연막의 일부분을 제거하는 단계; 및잔존하는 하부절연막 부분을 식각 장벽막으로 하여, 상기 제거된 일부분에 대응되는 상기 기판의 일부분 및 상기 상부절연막의 일부분을 제거함에 따라 상기 주입구를 형성하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,상기 제2기판을 제조하는 단계는,기판의 상하면에 각각 상부절연막 및 하부절연막을 형성하는 단계;상기 분사구의 위치에 대응되는 상기 상부절연막의 일부분을 제거하는 단계;잔존하는 상부절연막 부분을 식각 장벽막으로 하여, 상기 제거된 일부분에 대응되는 상기 기판의 일부분 및 상기 하부절연막의 일부분을 제거함에 따라 상기 분사구를 형성하는 단계; 및상기 상부 가열실에 대응되는 상기 하부절연막의 일부분 상에 상기 상부 가열실 내의 향을 기화시키기 위한 가열판을 적층하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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청구항 12에 있어서,상기 제3기판을 제조하는 단계는,기판의 상하면에 각각 상부절연막 및 하부절연막을 형성하는 단계;상기 상부 가열실의 위치에 대응되는 상기 상부절연막의 일부분을 제거하는 단계;잔존하는 상부절연막 부분을 식각 장벽막으로 하여, 상기 제거된 상부절연막의 일부분에 대응되는 상기 기판의 일부분을 설정된 깊이로 제거하되 상면이 오목한 곡면형으로 함몰된 형태의 상부 가열실을 형성하는 단계;상기 함몰된 상부 가열실의 표면에 보조절연막을 형성하는 단계;상기 하부절연막을 제거하는 단계;상기 하부 유입실에 대응되는 상기 하부절연막의 하면 부분을 상기 오목한 곡면형에 대응되는 형태로 설정된 깊이로 제거하여 상기 하부 유입실을 형성하는 단계;상기 하부 유입실의 표면에 보조절연막을 형성하는 단계; 및상기 상부 가열실과 상기 하부 유입실을 관통시키는 관통공을 형성하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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청구항 13에 있어서,상기 제3기판을 제조하는 단계는,기판의 상하면에 각각 상부절연막 및 하부절연막을 형성하는 단계;상기 상부 가열실의 위치에 대응되는 상기 상부절연막의 일부분을 제거하는 단계;잔존하는 상부절연막 부분을 식각 장벽막으로 하여, 상기 제거된 상부절연막의 일부분에 대응되는 상기 기판의 일부분을 제1깊이로 제거함에 따라 함몰된 형태의 상부 가열실을 형성하는 단계;상기 함몰된 상부 가열실의 표면에 보조절연막을 형성하는 단계;상기 하부 유입실의 위치에 대응되는 상기 하부절연막의 일부분을 제거하는 단계;잔존하는 하부절연막 부분을 식각 장벽막으로 하여, 상기 제거된 하부절연막의 일부분에 대응되는 상기 기판의 일부분을 제2깊이로 제거함에 따라 함몰된 형태의 하부 유입실을 형성하는 단계;상기 함몰된 하부 유입실의 표면에 보조절연막을 형성하는 단계; 및상기 상부 가열실과 상기 하부 유입실을 관통시키는 관통공을 형성하는 단계를 포함하는 향 분사 장치용 초소형 노즐의 제조 방법
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