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패터닝 형성용 탄소나노튜브-고분자 복합체 및 이를 이용하여 기판에 패터닝을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2014059841
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의하여 수용액상의 탄소노나노튜브 분산용액, 계면활성제 및 폴리에틸렌이민을 포함하는 탄소나노튜브-고분자 복합체가 개시되며, 탄소나노튜브를 기판에 패터닝 하기 위한 준비 단계로써 폴리에틸렌아민을 사용하여 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 준비하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 AFM 탐침 표면에 물리적 흡착을 유도하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액이 함침된 AFM 탐침을 기판 상에서 이동시키며 탄소나노튜브-고분자 복합체를 전사하는 단계; 상기 전사된 탄소나노튜브-고분자 복합체에서 고분자 부분을 화학적 처리를 통해 제거하는 단계; 및 소자를 형성하여 전도성을 확인하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브의 패터닝 방법이 개시된다.딥펜-나노리소그래피, 탄소나노튜브-고분자 복합체, 배향성, 패터닝
Int. CL B82B 1/00 (2006.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020090116493 (2009.11.30)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1267218-0000 (2013.05.16)
공개번호/일자 10-2011-0060028 (2011.06.08) 문서열기
공고번호/일자 (20130523) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재호 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 임정혁 대한민국 충청북도 충주시
3 이재혁 대한민국 충청북도 청원군
4 Najeeb C. K. 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영관 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로 *** , *층(논현동, 태원빌딩)(명성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0734885-53
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0807406-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0034064-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0449181-16
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0786145-07
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0876718-92
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0954950-86
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0954949-39
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0236313-52
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0361039-09
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-0361032-80
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0634500-18
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-1068786-69
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0007032-11
16 등록결정서
Decision to grant
2013.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0336605-36
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-5000672-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수용액상의 탄소노나노튜브 분산용액, 계면활성제 및 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine)을 포함하는 기판에 특정 방향으로 배향성을 가지는 패터닝을 형성하기 위한 탄소나노튜브-고분자 복합체
2 2
제 1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 탄소동소체인 플러린 (Fullerene, C60), 그래핀 (Graphene), 나노와이어 (Nanowire), 나노로드 (Nano rod)와 같이 막대 형상을 가진 나노물질 또는 나노점 (Nano dot)이고, 일차원 구조체로서 산화아연(ZnO), 갈륨비소(GaAs), 갈륨질소(GaN), 인듐인(InP), 실리콘(Si), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 망간(Mn), 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd)이며, 바이오 물질인 DNA, 단백질 (Protein), 바이러스 (Virus)임을 특징으로 하는 기판에 특정 방향으로 배향성을 가지는 패터닝을 형성하기 위한 탄소나노튜브-고분자 복합체
3 3
계면활성제는 소듐도데실벤질설퍼네이트, 퍼플루오로옥타네이트, 퍼플루오로옥탄설퍼네이트, 소듐라우릴에테르설페이트, 알킬벤젠설포네이트, 세틸트리메틸암모늄브로마이드, 세틸피리디늄클로라이드, 폴리에틸티올실레이티드탈로우아민, 벤즈알코늄클로라이드, 벤즈에토늄클로라이드, 알킬폴리에틸렌옥사이드, 알킬페놀폴리에틸렌옥사이드, 폴로옥사민, 알킬폴리글루코사이드, 세틸알코올, 올레일알코올, 도데실디메틸아민옥사이드, 또는 이들의 혼합물이고, 점성을 가지는 고분자는 폴리에틸렌이민임을 특징으로 하는 기판에 특정 방향으로 배향성을 가지는 패터닝을 형성하기 위한 탄소나노튜브-고분자 복합체
4 4
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 금, 백금, 유리 또는 플라스틱 기판으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-고분자 복합체
5 5
계면활성제와 폴리에틸렌이민을 이용하여 고농도의 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 준비하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 AFM 탐침 표면에 물리적 흡착을 유도하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액이 함침된 AFM 탐침을 기판 상에서 이동시키며 탄소나노튜브-고분자 복합체를 전사하는 단계; 및 상기 전사된 탄소나노튜브-고분자 복합체에서 고분자 부분을 화학적 처리를 통해 제거하는 단계를 포함하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 탄소동소체인 플러린 (Fullerene, C60), 그래핀 (Graphene), 나노와이어 (Nanowire), 나노로드 (Nano rod)와 같이 막대 형상을 가진 나노물질 또는 나노점 (Nano dot)이고, 일차원 구조체로서 산화아연(ZnO), 갈륨비소(GaAs), 갈륨질소(GaN), 인듐인(InP), 실리콘(Si), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 망간(Mn), 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd)이며, 바이오 물질인 DNA, 단백질 (Protein), 바이러스 (Virus)임을 특징으로 하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법
7 7
계면활성제와 폴리에틸렌이민을 이용하여 고농도의 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 준비하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 AFM 탐침 표면에 물리적 흡착을 유도하는 단계; 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액이 함침된 AFM 탐침을 기판 상에서 이동시키며 탄소나노튜브-고분자 복합체를 전사하는 단계; 및 상기 전사된 탄소나노튜브-고분자 복합체에서 고분자 부분을 화학적 처리를 통해 제거하는 단계를 포함하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법에 있어서, 상기 계면활성제는 소듐도데실벤질설퍼네이트, 퍼플루오로옥타네이트, 퍼플루오로옥탄설퍼네이트, 소듐라우릴에테르설페이트, 알킬벤젠설포네이트, 세틸트리메틸암모늄브로마이드, 세틸피리디늄클로라이드, 폴리에틸티올실레이티드탈로우아민, 벤즈알코늄클로라이드, 벤즈에토늄클로라이드, 알킬폴리에틸렌옥사이드, 알킬페놀폴리에틸렌옥사이드, 폴로옥사민, 알킬폴리글루코사이드, 세틸알코올, 올레일알코올, 도데실디메틸아민옥사이드, 또는 이들의 혼합물임을 특징으로 하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 집적 패터닝하는 방법
8 8
제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 탄소나노튜브-고분자 복합체 용액을 상기 AFM 표면에 물리적 흡착을 유도하는 방법은 상기 AFM 탐침 표면에 H2SO4/H2O2 3:1의 혼합용액을 이용하거나 또는 오존-플라즈마 처리를 통해서 유도하는 것을 특징으로 하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법
9 9
제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 전사된 탄소나노튜브-고분자 복합체에서 고분자 부분을 메탄올, 에탄올, 아세톤으로 이루어지는 군으로부터 선택된 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 유기용매를 이용한 화학적 처리를 통해 제거함을 특징으로 하는, 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법
10 10
제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 금, 백금, 유리 또는 플라스틱으로 이루어지는 군으로부터 선택됨을 특징으로 하는 기판에 탄소나노튜브를 특정 방향으로 직접 패터닝하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.