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준비된 지지층(substrate)에 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지를 성장시키는 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계;상기 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계에서 성장된 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지에 GaAs 또는 InGaAs 태양전지를 성장시키는 (In)GaAs 태양전지 성장 단계; 및상기 (In)GaAs 태양전지 성장 단계에서 성장된 GaAs 또는 InGaAs 태양전지에 협폭 밴드갭(Narrow Bandgap)을 갖는 0
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2
제 1 항에 있어서,상기 지지층은 GaAs 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 0
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4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 다중 접합 태양전지 제작 방법은 상기 0
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5
제 4 항에 있어서,상기 다중 접합 태양전지 제작 방법은 상기 지지층 분리단계에서 분리된 지지층을 이용하여 상기 태양전지 제작 방법에 따라 상기 태양전지를 재성장 시키는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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6 |
6
제 4 항에 있어서,상기 지지층 분리 단계는 래핑(lapping) 및 식각 방법을 이용하여 상기 태양전지에서 지지층을 제거 하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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7
제 4 항에 있어서,상기 지지층 분리 단계는 지지층과 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지 사이에 형성된 희생층의 선택적 식각을 이용한 에피탁시얼 리프트 오프(epitaxial lift-off) 방법을 이용하여 상기 태양전지에서 지지층을 제거 하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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8
제 7 항에 있어서,상기 희생층은 Al1-xGaxAs (0≤x≤1)로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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9
제 3 항에 있어서,0
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10
제 4 항에 있어서,상기 지지층 분리 단계에 앞서, 상기 0
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11
제 10 항에 있어서,상기 태양전지 셀 제작 단계에서 상기 태양전지를 금속 및 전도성 기판에 이식하는 것은 상기 태양전지의 상기 0
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12
다중 접합 태양전지 제작 방법에 있어서,준비된 지지층(substrate)에 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지를 성장시키는 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계;상기 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계에서 성장된 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지에 GaAs 또는 InGaAs 태양전지를 성장시키는 (In)GaAs 태양전지 성장 단계; 상기 (In)GaAs 태양전지 성장 단계에서 성장된 GaAs 또는 InGaAs 태양전지에 협폭 밴드갭(Narrow Bandgap)을 갖는 0
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13
제 12 항에 있어서,상기 지지층은 GaAs 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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14
제 12 항에 있어서,상기 0
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15
제 12 항에 있어서,상기 다중 접합 태양전지 제작 방법은 상기 지지층 분리단계에서 분리된 지지층을 이용하여 상기 태양전지 제작 방법에 따라 상기 태양전지를 재성장 시키는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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16
제 12 항에 있어서,상기 지지층 분리 단계는 래핑(lapping) 및 식각 방법을 이용하여 상기 태양전지에서 지지층을 제거 하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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17
제 12 항에 있어서,상기 지지층 분리 단계는 지지층과 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지 사이에 형성된 희생층의 선택적 식각을 이용한 에피탁시얼 리프트 오프(epitaxial lift-off) 방법을 이용하여 상기 태양전지에서 지지층을 제거하고 제거된 상기 지지층을 재사용하여 태양전지를 제작하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 태양전지 제작 방법
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제 15 항에 있어서,0
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준비된 지지층(substrate)에 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지를 성장시키는 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계;상기 (Al)InGaP 태양전지 성장 단계에서 성장된 InGaP 또는 AlInGaP 태양전지에 GaAs 또는 InGaAs 태양전지를 성장시키는 (In)GaAs 태양전지 성장 단계; 및상기 (In)GaAs 태양전지 성장 단계에서 성장된 GaAs 또는 InGaAs 태양전지에 협폭 밴드갭(Narrow Bandgap)을 갖는 0
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