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(a) 기판 상측에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계;(c) 포토마스크를 통하여 기판의 제1 전극영역 및 제2 전극영역을 노광하는 단계;(d) 상기 제1 전극영역 및 제2 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계;(e) 상기 (d) 단계 후 상기 제1 전극영역 및 제2 전극영역에 잔류된 포토레지스트를 열분해하여 제1 빗살무늬 탄소 전극 및 제2 빗살무늬 탄소 전극을 형성하는 단계; (f) 제1 빗살무늬 탄소 전극과 제2 빗살무늬 및 탄소 전극이 중첩되는 부분을 제외한 나머지 탄소영역부를 절연하는 단계; 및 (g) 상기 제1 빗살무늬 탄소 전극 및 상기 제2 빗살무늬 탄소 전극 사이에 채널을 형성하는 마이크로 채널부를 형성하는 단계를 포함하는 바이오센서 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 (f) 단계는, 상기 제1 빗살무늬 탄소 전극 및 상기 제2 빗살무늬 탄소 전극 상부에 제2 포토레지스트를 도포하는 단계; 상기 제1 빗살무늬 탄소 전극과 상기 제2 빗살무늬 탄소 전극이 중첩되는 영역을 제외한 부위를 1차 노광한 후, 상기 제2 포토레지스트를 현상하는 단계를 포함하는 바이오센서 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 마이크로 채널부를 형성하는 단계는, 상기 제1 빗살무늬 탄소 전극 및 상기 제2 빗살무늬 탄소 전극 상부에 제3 포토레지스트를 도포하는 단계; 상기 제1 빗살무늬 탄소 전극과 상기 제2 빗살무늬 탄소 전극 상부에 마이크로 채널의 좌우 외벽을 이루는 부위를 1차 노광하는 단계;상기 1차 노광부를 연결하는 평면 형태의 포토마스크를 통하여 1차 노광부 사이의 포토레지스트를 자외선에 노출시키는 2차 노광을 한 후, 상기 제3포토레지스트를 현상하는 단계를 포함하는 바이오센서 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 마이크로 채널부는 친수성 재질로 형성되는 바이오센서 제조 방법
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청구항 3에 있어서,상기 마이크로 채널부는 PDMS 재질로 형성되며, 상기 (g) 단계는 상기 빗살무늬 탄소 전극 상에 옥사이드 코팅하는 단계를 더 포함하는 바이오센서 제조 방법
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(a) 절연물질로 이루어진 기판 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계;(c) 포토마스크를 통하여 상기 기판 상의 제1 전극영역 및 제2 전극영역의 포토레지스트를 노광하는 단계;(d) 상기 제1 전극영역 및 제2 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계;(e) 상기 (d) 단계 후 상기 제1 전극영역 및 제2 전극영역에 잔류된 포토레지스트를 열분해하여 제1,2빗살무늬 탄소 전극을 형성하는 단계; 및(f) 제1 빗살무늬 탄소 전극과 제2 빗살무늬 및 탄소 전극이 중첩되는 부분을 제외한 나머지 탄소영역부를 절연하는 단계; 및 (g) 상기 제1,2빗살무늬 탄소 전극 사이에 채널을 형성하는 마이크로 채널부를 형성하는 단계를 포함하는 바이오센서 제조 방법
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